經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ?/h1>

發(fā)布時(shí)間:2017/11/2 20:01:30 訪問次數(shù):569

   如8.2.1節(jié)所述,基于基本原理所建立的等離子刻蝕建模涉及高頻、高強(qiáng)度電場(chǎng)內(nèi)的連續(xù)性、 VP101X12BQC-2動(dòng)量平衡和能量平衡等方程。對(duì)一個(gè)特定反應(yīng)器的實(shí)際模擬,所需要的求解時(shí)問在數(shù)量級(jí)L是一個(gè)單獨(dú)的操作條件大約半個(gè)小時(shí),這對(duì)于可能需要實(shí)時(shí)反饋的I藝控制來說速度慢得無法接受。此外,缺乏對(duì)日標(biāo)材料和刻蝕氣體復(fù)雜相互作用的基本了解,往往會(huì)誤導(dǎo) 模擬結(jié)果。另一方面,雖然經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ图兇獾匾蕾囉趯?shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),缺乏深刻的理解,并被限制在其可用的數(shù)據(jù)范圍內(nèi),但可能更容易接收用在實(shí)際制造中。所以在這兩方面做一下折中是必要的。

   經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ?也被稱作黑箱模型,在很大程度上忽視基本的物理過程,僅從實(shí)際過程行為的角度來將問題參數(shù)化。利用測(cè)量過程的輸入和輸出,來確定一個(gè)輸出到輸人的數(shù)學(xué)模型。參數(shù)的估算被分為線性和非線性部分,二者都是很廣泛的研究課題。一個(gè)簡(jiǎn)要的總結(jié)列于表8.1中。()LS是最簡(jiǎn)單且被最廣泛使用的,它假設(shè)輸人沒有干擾,如果違背了這一條,模型的預(yù)測(cè)可能變差。R1冫S防止了OI'S的共線性問題,但仍假定無干擾輸入。PCR第一個(gè)采用了主成分分析法(PCA)消除F共線性,在正交的主成分得分與負(fù)載中獲取數(shù)據(jù),提取出的主成分可能會(huì)出現(xiàn)在與輸出空間不一致的子空間中,最終結(jié)束在一個(gè)不準(zhǔn)確的模型預(yù)期L。PI'S用改變輸人變量,使其與輸出空問關(guān)聯(lián)的方法克服了這一缺點(diǎn)。CR方法可以用到OLWPCR/PI'S中去,常�？梢愿纳颇Ｐ偷木�。所有⒈述的線性方法只能在一個(gè)狹窄范圍內(nèi)得到所需的性能。像干法刻蝕這樣本身高度復(fù)雜的工藝過程的驗(yàn)證,必須依靠非線性方法,神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)[盯(NN)已經(jīng)顯示出在這一領(lǐng)域具有卓越的能力。

     

   如8.2.1節(jié)所述,基于基本原理所建立的等離子刻蝕建模涉及高頻、高強(qiáng)度電場(chǎng)內(nèi)的連續(xù)性、 VP101X12BQC-2動(dòng)量平衡和能量平衡等方程。對(duì)一個(gè)特定反應(yīng)器的實(shí)際模擬,所需要的求解時(shí)問在數(shù)量級(jí)L是一個(gè)單獨(dú)的操作條件大約半個(gè)小時(shí),這對(duì)于可能需要實(shí)時(shí)反饋的I藝控制來說速度慢得無法接受。此外,缺乏對(duì)日標(biāo)材料和刻蝕氣體復(fù)雜相互作用的基本了解,往往會(huì)誤導(dǎo) 模擬結(jié)果。另一方面,雖然經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ图兇獾匾蕾囉趯?shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),缺乏深刻的理解,并被限制在其可用的數(shù)據(jù)范圍內(nèi),但可能更容易接收用在實(shí)際制造中。所以在這兩方面做一下折中是必要的。

   經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ?也被稱作黑箱模型,在很大程度上忽視基本的物理過程,僅從實(shí)際過程行為的角度來將問題參數(shù)化。利用測(cè)量過程的輸入和輸出,來確定一個(gè)輸出到輸人的數(shù)學(xué)模型。參數(shù)的估算被分為線性和非線性部分,二者都是很廣泛的研究課題。一個(gè)簡(jiǎn)要的總結(jié)列于表8.1中。()LS是最簡(jiǎn)單且被最廣泛使用的,它假設(shè)輸人沒有干擾,如果違背了這一條,模型的預(yù)測(cè)可能變差。R1冫S防止了OI'S的共線性問題,但仍假定無干擾輸入。PCR第一個(gè)采用了主成分分析法(PCA)消除F共線性,在正交的主成分得分與負(fù)載中獲取數(shù)據(jù),提取出的主成分可能會(huì)出現(xiàn)在與輸出空間不一致的子空間中,最終結(jié)束在一個(gè)不準(zhǔn)確的模型預(yù)期L。PI'S用改變輸人變量,使其與輸出空問關(guān)聯(lián)的方法克服了這一缺點(diǎn)。CR方法可以用到OLWPCR/PI'S中去,常�？梢愿纳颇Ｐ偷木取Ｋ孝笔龅木�性方法只能在一個(gè)狹窄范圍內(nèi)得到所需的性能。像干法刻蝕這樣本身高度復(fù)雜的工藝過程的驗(yàn)證,必須依靠非線性方法,神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)[盯(NN)已經(jīng)顯示出在這一領(lǐng)域具有卓越的能力。

     

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