圖8.41還表明高壓(HP)灰化工藝比低壓(I'P)I藝得到更為圓弧的形狀。圖8.42它們相應(yīng)的R‘性能。M/F39R2低壓灰化比高壓灰化顯示出更為收斂的R‘分布,這個現(xiàn)象是由于壓灰化對通孔底部的清潔能力比較差,而低壓灰化更多的是豎直的轟擊,這增強了從通孔底部除去更多殘余物的傾向。最終導致收斂的R(分布。

   圖4,43所示為在LRM步驟中,不同的刻蝕氣體可以帶來完全不同的溝槽頂部和孔底部的形狀。由NF3的I冫RM工藝,可以得到平滑的溝槽頂部和橫向刻蝕的孔底部形狀,這是由于NF3比CF1有更好的選擇比(SiN對siO?),高的選擇比表明在溝槽的頂部NF3r藝比CF{工藝消耗的⒏02少,囚此CFl工藝傾向于形成頂部圓形的形狀。另外,NF3的I'RM丁藝是無聚合物的I藝,因為在NF,中沒有C元素。它的副作用就是在孔底部弱的側(cè)壁保護,容易形成如圖8,43(左下)所示的橫向刻蝕。