總結(jié)結(jié)論、提出建議和改正措施,如(add FA Report Component and Format here):SMDA15C.TBT

   (1)失效原囚:以半導(dǎo)體器件失效機(jī)理的有關(guān)理論為根據(jù),對(duì)上述失效模式和現(xiàn)象進(jìn)行理論推理并結(jié)合材料性質(zhì)、有關(guān)設(shè)計(jì)和工藝?yán)碚摷敖?jīng)驗(yàn),提出導(dǎo)致該失效模式產(chǎn)生的內(nèi)在原囚或具體物理化學(xué)過(guò)程。如有可能,更應(yīng)以分子、原子學(xué)觀點(diǎn)加以闡明或解釋。

   (2)失效原囚未完全確定,但失效特征已有較好的了解c

   (3)分析失敗。失效原囚無(wú)法確定。

   (4)提出糾正措施。失效分析的終極目標(biāo)是提高產(chǎn)品良率、品質(zhì)和可靠性。根據(jù)失效分析結(jié)果,和相關(guān)部門合作,提出防止產(chǎn)生失效的設(shè)想和建議。它包括I藝、設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、線路、材料、篩選方法和條件、使用方法和條件、質(zhì)量控制和管理等方面,如此周而復(fù)始,不斷發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,分析解決問(wèn)題,使器件的可靠性不斷得到提高。