納米探針的種類按照使用平合來分可以分為基于原子力顯微鏡(AFM)的原子力探針顯微鏡和基于掃描電子顯微鏡(SEM)的掃描電子探針顯微鏡。TC4S66F

   原子力顯微鏡是用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感組件之間的極微弱的原子問相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將對微弱力極端敏感的微懸臂的一端同定,另一端的微小針尖接近樣品,這時它將與其相互作用・作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運動狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時,利用傳感器檢測這些變化・就可獲得作丹j力分布信息,從而以納米級分辨率獲得表面結(jié)構(gòu)信息。它主要由帶針尖的微懸臂、微懸臂運動檢測裝置、監(jiān)控其運動的反饋回路、使樣品進(jìn)行掃描的壓電陶瓷掃描儀件、計算機(jī)控制的圖像采集、顯示及處理系統(tǒng)組成。微懸臂運動可用如隧道電流檢測等電學(xué)方法或光束偏轉(zhuǎn)法、千涉法等光學(xué)方法檢測,當(dāng)針尖與樣品充分接近相互之間存在短程相互斥力時,檢測該斥力可獲得表面原子級分辨圖像,一般情況下分辨率也在納米級水平。