基于原子力顯微鏡的納米探針技術,就是在傳統(tǒng)的原子力顯微鏡基礎上,添加由TC74VHC244FEL根探針和精密的電學測試機相連接所組成的電學測量系統(tǒng)。它利用原子力顯微鏡原理獲得被檢測樣品的表m原子級的分辨圖像,再通過計算機控制和計算把探針移動到我們所需要測量的位置,根據(jù)設定的測試參數(shù)獲取樣品的電學特性參數(shù):

   基于原子力顯微鏡的納米探針突出的優(yōu)點是測量程序的白動化和快速的測量速度。由于系統(tǒng)主要是由計算機輔助控制・只需要相「f的指令和程序.便可以白動獲得所需要的測試結(jié)果。但是原子力顯微鏡對于佯品喪面的平整度有著很高的要求,這就對樣品制備要求嚴格。原子力顯微鏡在測蚩過程巾聽顯示的lkl像非實時圖像,如果存在樣品的抖動和偏移就會造成測量位置的偏差:另外基于原子力顯微鏡的納米探針造價也非常昂貴,使用成本較高。另一種納米探針系統(tǒng)是基于掃描電子顯微鏡(SEM)。不同于用光學顯微鏡作為觀測設備的傳統(tǒng)探針臺.它是利用掃描電子顯微鏡作為觀測設備。納米探針平臺使用的探針的針尖尺寸非常微小,通常可以達到50nm,因此可以用來測量非常微小的結(jié)構(gòu),而傳統(tǒng)的探針針尖從0.6um~幾微米不等,通常只能通過鋁墊對芯片進行電學測試。基于掃描電子顯微鏡的納米探針系統(tǒng)是把掃描電子顯微鏡的基座換成了一個由若十探針所構(gòu)成的探針基座,基座上的探針與外界的電性測試機相連,組成了一個完整的測量系統(tǒng)。探針基座L的探針通過電動馬達和壓電陶瓷完成粗調(diào)和細調(diào)。按照對探針操作的自動化程度來分,基于掃描電子顯微鏡的納米探針系統(tǒng)又可以分為手動、半白動。手動系統(tǒng)通常由1~6根探針所組成,而半自動系統(tǒng)有多達8根探針,可以完成更為復雜的測試,當然價格也更為昂貴。