解到 前而介紹了具有高能童的人射電子束勹罔體樣甜l的原子核及核外電子發(fā),可T018-002P產(chǎn)多種物理信號(hào):工次電子、背散射電子、吸收電子、俄歇電子、特征X射線等,掃捕電鏡最常使用的是二次電子信號(hào)和背散射電子信號(hào).前者用于顯示表面形貌襯度.后者川于形示原子序數(shù)襯度。下面分別介紹利用這些物理信號(hào)進(jìn)行電子成像的機(jī)制和模式。

   工次電子:二次電子成像是掃描電鏡像中應(yīng)用最普遍的成像機(jī)制。二次電子指被人射電:f轟擊出來并逸出樣品表面的核外電子.它來白距樣品表面5~1Onm深度范圍,能量為二次電子對(duì)樣品表面形貌十分敏感,能有效地顯示試樣表而的微觀形貌。由于它發(fā)阝i樣品表層,人射電子還沒有被多次反射,因此產(chǎn)生二次電子的面積與人射電子的照射面積沒有多大l×別,所以工次電子的分辨率較高。掃描電鏡的分辨率一般就是工次電f分辨率。