成像系統(tǒng)主要包括物鏡、巾間鏡(1~2個(gè))和投影鏡(1~2個(gè))以及其他電子光學(xué)部件。S1T8528X01-Q0R0

   經(jīng)過會(huì)聚鏡得到的平行電子束照射到樣品上,穿過樣品后就帶有反映樣品特征的信息,經(jīng)物鏡形成一次放大電子圖像,再經(jīng)中間鏡和投影鏡進(jìn)一步放大后,在熒光屏上得到最后的電子顯微圖像。

   同光學(xué)顯微鏡類似,物鏡是透射電鏡最重要的部分,電鏡的分辨率主要由物鏡性能決定。物鏡是強(qiáng)勵(lì)磁短焦距透鏡,它的作用是形成樣品的一次放大像及衍射譜。要求物鏡有盡可能高的分辨率和高的放大倍數(shù),而各種像差(如球差、色差和像差)要盡可能小c在物鏡的后焦面附近安裝有物鏡光闌,用來遮擋大角度的非彈性電子,降低球差和色差,提高像的襯度;選擇后焦面上晶體樣品的透射束或衍射束成像,可以獲得亮場(chǎng)或暗場(chǎng)像等,這在觀察電子衍射時(shí)有重要意義。

   中間鏡是一個(gè)弱勵(lì)磁長(zhǎng)焦距的弱透鏡,放大倍數(shù)在0~⒛倍之閘可變,其作用是把物鏡形成的一次放大像或衍射譜.投射到投影鏡的物平面上,冉由投影鏡放大到熒光屏上。用改變中悶鏡的放大倍率,來控制電鏡總的放大倍數(shù)。投影鏡和物鏡類似,也是一個(gè)強(qiáng)勵(lì)磁短焦

距透鏡,其作用是把經(jīng)中閘鏡形成的工次中間像或衍射譜放大到熒光屏卜l,形成最終的放大的電∫顯微像及衍射譜。