電子光學(xué)部分
發(fā)布時(shí)間:2017/11/15 21:00:38 訪問次數(shù):683
電子光學(xué)部分。通常稱T0RX179為鏡筒,是透射電子顯微鏡的核`b,它義可以分為照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和觀察照相室部分.
照明系統(tǒng)分成兩部分,即電子槍和聚光鏡(1~2級(jí),現(xiàn)代高性能TEM多為2~3級(jí)),它們?yōu)槌上裣到y(tǒng)提供個(gè)高亮度、小尺寸的照明光斑,照射在樣品上。電子槍由燈絲(陰極)、控制柵級(jí)(通常稱為韋氏筒,Wchnetc)和陽極組成。加熱燈絲發(fā)射電子束;在陽極加電壓,電子加速;陽極與陰極間的電位差為總的加速電壓,經(jīng)加速而具有能董的電子從陽極板的孔巾射出,射出的電子束能董與加速電壓有關(guān);柵極起控制電子束形狀和電子束電流大小、調(diào)節(jié)像的亮度的作用。
曲于電子之間的斥力和陽極小孔的發(fā)散作用,電子束穿過陽極小孔后.又逐漸變粗。射到試樣卜仍然過大c聚光鏡的作用是把電子束匯聚到樣品表面11,通過調(diào)節(jié)中孔徑角,改變照明亮度和光斑尺寸?偠胖,照明部分的作用是提供亮度高、相干性好、束流穩(wěn)定的照明電子束。
電子光學(xué)部分。通常稱T0RX179為鏡筒,是透射電子顯微鏡的核`b,它義可以分為照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和觀察照相室部分.
照明系統(tǒng)分成兩部分,即電子槍和聚光鏡(1~2級(jí),現(xiàn)代高性能TEM多為2~3級(jí)),它們?yōu)槌上裣到y(tǒng)提供個(gè)高亮度、小尺寸的照明光斑,照射在樣品上。電子槍由燈絲(陰極)、控制柵級(jí)(通常稱為韋氏筒,Wchnetc)和陽極組成。加熱燈絲發(fā)射電子束;在陽極加電壓,電子加速;陽極與陰極間的電位差為總的加速電壓,經(jīng)加速而具有能董的電子從陽極板的孔巾射出,射出的電子束能董與加速電壓有關(guān);柵極起控制電子束形狀和電子束電流大小、調(diào)節(jié)像的亮度的作用。
曲于電子之間的斥力和陽極小孔的發(fā)散作用,電子束穿過陽極小孔后.又逐漸變粗。射到試樣卜仍然過大c聚光鏡的作用是把電子束匯聚到樣品表面11,通過調(diào)節(jié)中孔徑角,改變照明亮度和光斑尺寸。總而古之,照明部分的作用是提供亮度高、相干性好、束流穩(wěn)定的照明電子束。
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