在晶圓的加工流程中,有很多TBPS0R473K455H5Q工序加工完畢后要對加工結(jié)果進(jìn)行檢測,若檢測結(jié)果不符合工藝要求,須進(jìn)行返工。這一方面直接增加了返工產(chǎn)品的加工周期,另一方面也增加了其他產(chǎn)品的等待時機(jī)和加工周期,還加劇了在制品對設(shè)備的競爭。在實(shí)際的集束型裝各生產(chǎn)中,存在大量的返工現(xiàn)象,雖然一批晶圓中可能只有幾片要返工,但返工有時要對設(shè)備進(jìn)行整定,進(jìn)而使集束型裝備的性能指標(biāo)受到嚴(yán)重影響。

   客戶需求變化

   半導(dǎo)體制造業(yè)尤其是代工廠的競爭激烈,為爭取市場份額,企業(yè)在一般情況下會盡力滿足客戶的需求,因此,對客戶需求變化的快速響應(yīng)是集束型裝各調(diào)度系統(tǒng)能力的重要體現(xiàn)�？蛻粜枨蟮淖兓饕ㄓ嗀浟康淖兓�、訂貨加急與取消、品種更換、特殊工藝要求

等,這些不確定事件都會對集束型裝備狀態(tài)及性能指標(biāo)造成很大的影響。臨時晶圓(緊急工件)是指由于客戶需求變化、臨時工藝改變和加工工件出現(xiàn)返工等情況而造成的加工時間緊迫的工件。集束型裝各在臨時晶圓到達(dá)時會采取兩類不同的處理方法:一類是將目前在集束型裝備內(nèi)部加工的晶圓全部加工完畢,然后加工臨時晶圓,這本質(zhì)上是靜態(tài)調(diào)度問題;另一類是暫停等待加工的晶圓,將臨時晶圓加入現(xiàn)有集束型裝備內(nèi)的晶圓加工,直到臨時晶圓加工完畢,再繼續(xù)加工原有的等待晶圓。臨時晶圓的到達(dá)時間、加工時間及數(shù)量等信息在臨時晶圓進(jìn)入生產(chǎn)線前是未知的,這種信息的不確定性使靜態(tài)調(diào)度方案失去可行性。如何利用現(xiàn)有加工模塊和運(yùn)輸設(shè)各的允許區(qū)間,合理安排臨時晶圓的加工順序和加工開始時間是一個復(fù)雜的問題。由上述分析可知,集束型裝備作為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的一部分,是由作業(yè)車間、流水車間和并行加工設(shè)備構(gòu)成的混合制造系統(tǒng),具有高度復(fù)雜性,因此,很難直接借鑒其他生產(chǎn)方式中較好的控制與調(diào)度成果,這也增加了集束型裝備調(diào)度研究的難度。