正如1,3節(jié)所述,集束型裝備具有高度復(fù)雜性,這給集束型裝備的調(diào)度帶來了較大的困難。 A915BY-4R7M按照調(diào)度類型、三鄰域(α/'//)、調(diào)度環(huán)境和任務(wù)、調(diào)度方法的不同,集束型裝備調(diào)度問題可有三種分類方法。

    基于調(diào)度類型的分類方法

   根據(jù)已有參考文獻(xiàn),集束型裝備按調(diào)度問題大致可分為可重入調(diào)度、多機(jī)械手調(diào)度、滯留時(shí)間約束調(diào)度、應(yīng)急調(diào)度和混流調(diào)度。

   重入調(diào)度

   某些晶圓制造過程是重復(fù)過程,對這類制造過程,晶圓片要反復(fù)經(jīng)過一些加工步驟,如原子層沉積工藝過程,通過多次重復(fù)極薄的淀積來控制淀積層的厚度。由于重入模式的存在,集束型裝備的調(diào)度存在著以下兩個困難。

   (1)系統(tǒng)會出現(xiàn)死鎖,必須保證無死鎖的運(yùn)行。

   (2)可供選擇的可行調(diào)度大大增加,增強(qiáng)了求解調(diào)度問題的復(fù)雜性。