集束型裝各調(diào)度的資源主要包括兩大類:硬件資源和軟件資源。其中,硬件資A915BY-220M源是指晶圓加工過(guò)程中使用的設(shè)各、原材料及輔助材料、參與加工過(guò)程的各類人員等;軟件資源是指加工過(guò)程中使用的各類產(chǎn)品的工藝信息、描述加工I序的設(shè)備程序及使用輔助材料的描述信息、與設(shè)備維護(hù)有關(guān)的信息等。半導(dǎo)體制造系統(tǒng)涉及大量要處理的信息流,在生產(chǎn)線層次使用的是制造執(zhí)行系統(tǒng)(MallufactuHng ExecL】tion S阝tcm,MES),在設(shè)備層使用集束型裝備控制系統(tǒng),在生產(chǎn)線物料搬運(yùn)層使用自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(Atltomatic MatcrialHand1ing system, AMHS)。