以下根據(jù)本章參考文獻的成果,利用241節(jié)的有限容量Petri網(wǎng)介紹對集束型裝備的建模過程。K8P6415UQB-PI4B

   對機械手的建模

   在集束型裝備中,加工模塊PM的活動是跟隨在機械手活動之后的,所以對機械手的調(diào)度是研究的重點。機械手活動包括從加工模塊PM中卸載晶圓,移動晶圓到下一個加工模塊,將晶圓載入目的加工模塊中,然后空載移動到下一加工模塊,等待晶圓被加工完等一系列活動。注意晶圓的加工流程是確定的,當機械手從某一個加工模塊卸載晶圓后,它必須移動到下一個指定的加工模塊并載入晶圓到這個加工模塊。令第0步表示從真空鎖(輸入/輸出裝載室)卸載晶圓,變遷島丿包含3個變遷。第j步時機械手從PM中卸載晶圓;J表示機械手持著晶圓從第J步移動到第表示載入晶圓到PM執(zhí)行第步。機械手活動的PN模型。

   當機械手持著晶圓到第丿步時,有可能PM因為沒有空間而導致機械手不能將晶圓載入PM中,機械手要等一段時間,直到PM有空問將晶圓載入為止。用庫所巧和圪表示在的情況下機械手的可用性。當巧或勹中有一個令牌(Token)時,表示有一機械手空閑;當珩和中都有令牌時,表示兩機械手都空閑。因為兩機械手不能同時完成同一動作,所以用變遷氣來連接巧和勹,只有庫所勹中無令牌、同時矸中有令牌時,可以使莎0觸發(fā)。通過這種方式,機械手的活動被描述出來,同時也反映這個過程的特點。