在調(diào)度集束型裝備時(shí),必須考慮活動(dòng)的時(shí)間因素,因此模型應(yīng)能描述系統(tǒng)的活動(dòng)時(shí)問。 K9F1G08U0B-PCB0

   在Pe網(wǎng)中,時(shí)間與庫所和變遷是有聯(lián)系的。

   由于所有的庫所和變遷都代表著需要活動(dòng)的時(shí)間量,故要將時(shí)間與庫所和變遷聯(lián)系起來。令%和烏分別表示機(jī)械手從加工模塊(或真空鎖)中卸載晶圓和向加工模塊(真空鎖)中載入晶圓所需要的時(shí)間。表示機(jī)械手載著一個(gè)晶圓從源加工模塊移動(dòng)到目的加工模

塊所需要的時(shí)間。不失一般性。機(jī)械手空載從-個(gè)加工模塊移動(dòng)到另一個(gè)加工模塊所需的時(shí)間,與機(jī)械手載有晶圓從一個(gè)加工模塊移動(dòng)到另一個(gè)加工模塊的時(shí)間相等,即機(jī)械手空載移動(dòng)和負(fù)載移動(dòng)的時(shí)間相等且符合現(xiàn)實(shí)情況,或者說觸發(fā)%所需的時(shí)間也是〃。%表示機(jī)械手在原地時(shí)所需時(shí)間為0。在重入過程中,每次晶圓到同一加工步驟時(shí)的機(jī)械手操作是相同的。因此,時(shí)間也一樣相等。令n表示晶圓在中的加工時(shí)間。表示僅僅當(dāng)它在加工模塊n中停留時(shí)問超過單位時(shí)間才可觸發(fā)‰。機(jī)械手在%和‰中的等待時(shí)間依賴于加工時(shí)n和系統(tǒng)的調(diào)度策略。

   分別表示在%和gi,中等待時(shí)間。因?yàn)閹焖懞妥冞w氣只是用來模擬機(jī)械手的可用性,沒有活動(dòng)與它們相關(guān),所以它們所需的時(shí)問為0。庫所和變遷的符號(hào)和所需時(shí)間。連續(xù)的變遷 楊→‰→‰ 為一個(gè)交換過程,加工模塊P`的加工不可中斷,所以這個(gè)過程所需時(shí)間不等于α+〃+'。用庀表示機(jī)械手在加工模塊``執(zhí)行交換過程所需的時(shí)間。不失一般性,假設(shè)凡=龍。