設(shè)各故障和自動清洗
發(fā)布時間:2017/12/3 20:24:11 訪問次數(shù):2982
設(shè)備故障有可能中斷或不中斷生產(chǎn)過程,應(yīng)根據(jù)具體情況給出合理的故障處理流程。LPO2506I-333LC設(shè)備自動清洗(Auto αcaning)是設(shè)備加工若干晶圓后,必須進(jìn)行的清洗過程,可被認(rèn)為是設(shè)備故障的特殊情況。
針對設(shè)備出現(xiàn)故障的應(yīng)急調(diào)度問題,本章參考文獻(xiàn)[90]指出采用并行模塊有利于提高生產(chǎn)率,也有利于減少對模塊故障的敏感度。當(dāng)一個并行模塊出現(xiàn)故障時,其他并行模塊仍能夠繼續(xù)完成后續(xù)晶圓的加工。但該文獻(xiàn)沒有闡述討論在復(fù)雜的晶圓流模式下,調(diào)度方案是否會違反滯留時間約束,以及是否存在最優(yōu)在線調(diào)度方案。本章參考文獻(xiàn)p1]首先討論并行模塊出現(xiàn)故障的情況,新晶圓流模式可能造成加工負(fù)載的不均衡,進(jìn)而違反晶圓滯留時間約束問題;選擇可調(diào)度加工時間范圍策略,可以滿足所有的晶圓流式,同時針對加工時間的選擇,采用加工平衡策略和虛擬加工模塊技術(shù)。但虛擬加工模塊技術(shù)由于集束型裝備的加工模塊數(shù)量有限,而受到一定的局限,但對具有工藝模塊堆疊式結(jié)構(gòu)集束型裝備將不受限制。集束型裝備的加工工序存在并行模塊,當(dāng)其中一個模塊出現(xiàn)故障時,系統(tǒng)繼續(xù)完成加工是可能的。故障響應(yīng)的關(guān)鍵在于集束型裝備如何從故障前的穩(wěn)態(tài),過渡到故障后的穩(wěn)態(tài)。對于不同的故障情形,本章參考文獻(xiàn)[呢]提出相應(yīng)的控制策略,使得系統(tǒng)能夠繼續(xù)完成晶圓的加工。
設(shè)備故障有可能中斷或不中斷生產(chǎn)過程,應(yīng)根據(jù)具體情況給出合理的故障處理流程。LPO2506I-333LC設(shè)備自動清洗(Auto αcaning)是設(shè)備加工若干晶圓后,必須進(jìn)行的清洗過程,可被認(rèn)為是設(shè)備故障的特殊情況。
針對設(shè)備出現(xiàn)故障的應(yīng)急調(diào)度問題,本章參考文獻(xiàn)[90]指出采用并行模塊有利于提高生產(chǎn)率,也有利于減少對模塊故障的敏感度。當(dāng)一個并行模塊出現(xiàn)故障時,其他并行模塊仍能夠繼續(xù)完成后續(xù)晶圓的加工。但該文獻(xiàn)沒有闡述討論在復(fù)雜的晶圓流模式下,調(diào)度方案是否會違反滯留時間約束,以及是否存在最優(yōu)在線調(diào)度方案。本章參考文獻(xiàn)p1]首先討論并行模塊出現(xiàn)故障的情況,新晶圓流模式可能造成加工負(fù)載的不均衡,進(jìn)而違反晶圓滯留時間約束問題;選擇可調(diào)度加工時間范圍策略,可以滿足所有的晶圓流式,同時針對加工時間的選擇,采用加工平衡策略和虛擬加工模塊技術(shù)。但虛擬加工模塊技術(shù)由于集束型裝備的加工模塊數(shù)量有限,而受到一定的局限,但對具有工藝模塊堆疊式結(jié)構(gòu)集束型裝備將不受限制。集束型裝備的加工工序存在并行模塊,當(dāng)其中一個模塊出現(xiàn)故障時,系統(tǒng)繼續(xù)完成加工是可能的。故障響應(yīng)的關(guān)鍵在于集束型裝備如何從故障前的穩(wěn)態(tài),過渡到故障后的穩(wěn)態(tài)。對于不同的故障情形,本章參考文獻(xiàn)[呢]提出相應(yīng)的控制策略,使得系統(tǒng)能夠繼續(xù)完成晶圓的加工。
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