設(shè)備故障有可能中斷或不中斷生產(chǎn)過(guò)程,應(yīng)根據(jù)具體情況給出合理的故障處理流程。LPO2506I-333LC設(shè)備自動(dòng)清洗(Auto αcaning)是設(shè)備加工若干晶圓后,必須進(jìn)行的清洗過(guò)程,可被認(rèn)為是設(shè)備故障的特殊情況。

   針對(duì)設(shè)備出現(xiàn)故障的應(yīng)急調(diào)度問題,本章參考文獻(xiàn)[90]指出采用并行模塊有利于提高生產(chǎn)率,也有利于減少對(duì)模塊故障的敏感度。當(dāng)一個(gè)并行模塊出現(xiàn)故障時(shí),其他并行模塊仍能夠繼續(xù)完成后續(xù)晶圓的加工。但該文獻(xiàn)沒有闡述討論在復(fù)雜的晶圓流模式下,調(diào)度方案是否會(huì)違反滯留時(shí)間約束,以及是否存在最優(yōu)在線調(diào)度方案。本章參考文獻(xiàn)p1]首先討論并行模塊出現(xiàn)故障的情況,新晶圓流模式可能造成加工負(fù)載的不均衡,進(jìn)而違反晶圓滯留時(shí)間約束問題;選擇可調(diào)度加工時(shí)間范圍策略,可以滿足所有的晶圓流式,同時(shí)針對(duì)加工時(shí)間的選擇,采用加工平衡策略和虛擬加工模塊技術(shù)。但虛擬加工模塊技術(shù)由于集束型裝備的加工模塊數(shù)量有限,而受到一定的局限,但對(duì)具有工藝模塊堆疊式結(jié)構(gòu)集束型裝備將不受限制。集束型裝備的加工工序存在并行模塊,當(dāng)其中一個(gè)模塊出現(xiàn)故障時(shí),系統(tǒng)繼續(xù)完成加工是可能的。故障響應(yīng)的關(guān)鍵在于集束型裝備如何從故障前的穩(wěn)態(tài),過(guò)渡到故障后的穩(wěn)態(tài)。對(duì)于不同的故障情形,本章參考文獻(xiàn)[呢]提出相應(yīng)的控制策略,使得系統(tǒng)能夠繼續(xù)完成晶圓的加工。