考慮晶圓加工過程存在的一些不確定因素,如腔體故障,本章參考文獻[93]首先分別建立引入故障、LPO2506I-334LC預防性維修的加工模塊模型,并給出腔體和裝各平均故障率的理論模型;然后考慮腔體周期性清潔維護的要求,建立引入周期性清潔維護因素的加工模塊模型。為降低故障發(fā)生對生產率的影響,可以采取以下兩方面的措施。

   (l)對裝備進行預防性的維修活動,即對裝備進行定期檢查和維修,降低故障的發(fā)生,提高裝備運行的可靠性,延長裝備的使用壽命哪,羽。

   (2)對于已經發(fā)生的故障進行及時修復,要考慮故障發(fā)生及修復問題,以及為提高裝備可靠性,進行相應的預防性維修。

   目前,合理的意外情況處理方法是采用在線調度方法。在線調度方法首先應能夠適應多種類型晶圓混合加工的情況,能夠為每一個新進入的晶圓安排機械手搬運路徑;然后, 若出現加工模塊故障,可以采用死鎖檢測算法判斷是否發(fā)生死鎖,并采用死鎖恢復算法解

決死鎖;最后確定系統(tǒng)是否需要重調度,以便產生新的加工活動,使生產繼續(xù)進行下去。另外,晶圓的加工順序是影響產能的囚素之一,應該合理安排晶圓的加工順序并且要能避免死鎖,因此死鎖避免和優(yōu)化晶圓加工順序也是需要在線調度方法設計的重要問題。