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研究集束型裝備的靜態(tài)調(diào)度是不夠的

發(fā)布時(shí)間:2017/12/3 20:23:10 訪問(wèn)次數(shù):599

   研究集束型裝備的靜態(tài)調(diào)度是不夠的,晶圓的差異性決定晶圓的加工是一個(gè)動(dòng)態(tài)的過(guò)程。LPO2506I-224LC來(lái)自廠商的數(shù)據(jù)表明:加工時(shí)間每50~20“最大有5s的偏差,機(jī)械手搬運(yùn)時(shí)間每10~2仉有0~2s的偏差,晶圓定位失敗可能性則根據(jù)設(shè)各不同在3%~10%之間變化Ⅱ’蜊。在加工時(shí)間可變的條件下,系統(tǒng)的調(diào)度將變得極為復(fù)雜。因?yàn)榧庸r(shí)問(wèn)的變化可能會(huì)導(dǎo)致不滿足晶圓滯留時(shí)間約束,調(diào)度方案不會(huì)像加工時(shí)間確定的問(wèn)題那樣可以通過(guò)離線方式獲得。

   最先研究具有晶圓滯留時(shí)間約束和作業(yè)時(shí)間波動(dòng)的集束型裝備調(diào)度問(wèn)題。作者采用Pc“i網(wǎng)建模和分支技術(shù),在采用盡早開(kāi)始的調(diào)度策略下研究系統(tǒng)的可調(diào)度性,并將系統(tǒng)分為兩類:總是可以調(diào)度的(Alwγs Schc1ul曲lc)和總是不可調(diào)度的(NcvcrSchcdulablc)。如果是前者,一定存在可行調(diào)度方案。而對(duì)于后者,能否求得一個(gè)可行調(diào) 度則是一個(gè)懸而未決的問(wèn)題。本章參考文獻(xiàn)[87~89]中對(duì)具有晶圓滯留時(shí)間約束和作業(yè)時(shí)間波動(dòng)的雙臂集束型裝備的調(diào)度問(wèn)題進(jìn)行研究,將作業(yè)時(shí)問(wèn)波動(dòng)當(dāng)作對(duì)正常加工的一種擾動(dòng),提出一個(gè)兩級(jí)實(shí)時(shí)調(diào)度體系。在上層,假定系統(tǒng)正常運(yùn)行,求得滿足晶圓駐留時(shí)間 約束的離線調(diào)度;在底層,根據(jù)實(shí)時(shí)觀測(cè)到的結(jié)果,用實(shí)時(shí)控制策略以盡量消除作業(yè)時(shí)間的擾動(dòng)。基于如上的調(diào)度體系和Pc缸網(wǎng)模型,本章參考文獻(xiàn)[89]提出一種實(shí)時(shí)控制策略,并證明在本章參考文獻(xiàn)[85]中一些被認(rèn)定為總是不可調(diào)度的系統(tǒng)實(shí)際上是可調(diào)度的。在隨 后的研究中,作者首先分析作業(yè)時(shí)間變動(dòng)對(duì)晶圓駐留時(shí)間的影響,給出駐留時(shí)間波動(dòng)上限的解析表達(dá)式;然后根據(jù)駐留時(shí)間波動(dòng)的分析,研究系統(tǒng)的可調(diào)度性及調(diào)度方法,給出系統(tǒng)可調(diào)度的條件及相應(yīng)的調(diào)度算法,并且給出判斷可調(diào)度性和求解最優(yōu)調(diào)度方案的解析表達(dá)式。如果系統(tǒng)是可調(diào)度的,就用解析表達(dá)式求得最優(yōu)調(diào)度。這一研究結(jié)果是該領(lǐng)域的一個(gè)重大進(jìn)展阝剔。但該調(diào)度算法仍然假設(shè)采用swap策略進(jìn)行機(jī)械手的調(diào)度,沒(méi)有討論非Swap策略有可能得到更好解的情況。

   加工作業(yè)時(shí)間的微小隨機(jī)波動(dòng)對(duì)集束型裝備調(diào)度提出更大的挑戰(zhàn)。在加工時(shí)間隨機(jī)波動(dòng)的條件下,其解的可行性問(wèn)題比在加工時(shí)間確定的條件下要困難得多;再者,在加工時(shí)間波動(dòng)的條件下要進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)度,因而算法的實(shí)時(shí)性成為需要解決的重要問(wèn)題。



   研究集束型裝備的靜態(tài)調(diào)度是不夠的,晶圓的差異性決定晶圓的加工是一個(gè)動(dòng)態(tài)的過(guò)程。LPO2506I-224LC來(lái)自廠商的數(shù)據(jù)表明:加工時(shí)間每50~20“最大有5s的偏差,機(jī)械手搬運(yùn)時(shí)間每10~2仉有0~2s的偏差,晶圓定位失敗可能性則根據(jù)設(shè)各不同在3%~10%之間變化Ⅱ’蜊。在加工時(shí)間可變的條件下,系統(tǒng)的調(diào)度將變得極為復(fù)雜。因?yàn)榧庸r(shí)問(wèn)的變化可能會(huì)導(dǎo)致不滿足晶圓滯留時(shí)間約束,調(diào)度方案不會(huì)像加工時(shí)間確定的問(wèn)題那樣可以通過(guò)離線方式獲得。

   最先研究具有晶圓滯留時(shí)間約束和作業(yè)時(shí)間波動(dòng)的集束型裝備調(diào)度問(wèn)題。作者采用Pc“i網(wǎng)建模和分支技術(shù),在采用盡早開(kāi)始的調(diào)度策略下研究系統(tǒng)的可調(diào)度性,并將系統(tǒng)分為兩類:總是可以調(diào)度的(Alwγs Schc1ul曲lc)和總是不可調(diào)度的(NcvcrSchcdulablc)。如果是前者,一定存在可行調(diào)度方案。而對(duì)于后者,能否求得一個(gè)可行調(diào) 度則是一個(gè)懸而未決的問(wèn)題。本章參考文獻(xiàn)[87~89]中對(duì)具有晶圓滯留時(shí)間約束和作業(yè)時(shí)間波動(dòng)的雙臂集束型裝備的調(diào)度問(wèn)題進(jìn)行研究,將作業(yè)時(shí)問(wèn)波動(dòng)當(dāng)作對(duì)正常加工的一種擾動(dòng),提出一個(gè)兩級(jí)實(shí)時(shí)調(diào)度體系。在上層,假定系統(tǒng)正常運(yùn)行,求得滿足晶圓駐留時(shí)間 約束的離線調(diào)度;在底層,根據(jù)實(shí)時(shí)觀測(cè)到的結(jié)果,用實(shí)時(shí)控制策略以盡量消除作業(yè)時(shí)間的擾動(dòng);谌缟系恼{(diào)度體系和Pc缸網(wǎng)模型,本章參考文獻(xiàn)[89]提出一種實(shí)時(shí)控制策略,并證明在本章參考文獻(xiàn)[85]中一些被認(rèn)定為總是不可調(diào)度的系統(tǒng)實(shí)際上是可調(diào)度的。在隨 后的研究中,作者首先分析作業(yè)時(shí)間變動(dòng)對(duì)晶圓駐留時(shí)間的影響,給出駐留時(shí)間波動(dòng)上限的解析表達(dá)式;然后根據(jù)駐留時(shí)間波動(dòng)的分析,研究系統(tǒng)的可調(diào)度性及調(diào)度方法,給出系統(tǒng)可調(diào)度的條件及相應(yīng)的調(diào)度算法,并且給出判斷可調(diào)度性和求解最優(yōu)調(diào)度方案的解析表達(dá)式。如果系統(tǒng)是可調(diào)度的,就用解析表達(dá)式求得最優(yōu)調(diào)度。這一研究結(jié)果是該領(lǐng)域的一個(gè)重大進(jìn)展阝剔。但該調(diào)度算法仍然假設(shè)采用swap策略進(jìn)行機(jī)械手的調(diào)度,沒(méi)有討論非Swap策略有可能得到更好解的情況。

   加工作業(yè)時(shí)間的微小隨機(jī)波動(dòng)對(duì)集束型裝備調(diào)度提出更大的挑戰(zhàn)。在加工時(shí)間隨機(jī)波動(dòng)的條件下,其解的可行性問(wèn)題比在加工時(shí)間確定的條件下要困難得多;再者,在加工時(shí)間波動(dòng)的條件下要進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)度,因而算法的實(shí)時(shí)性成為需要解決的重要問(wèn)題。



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