自組裝技術(shù)一般是首先在藍(lán)寶石襯底表面形成一層由sio2納米球有序排列構(gòu)成的自組裝膜,MBR160F然后以有序排列的Si02陣列作為掩膜,℃P亥刂蝕藍(lán)寶石表面,可形成納米圖形化的表面。so2納米球通常采用化學(xué)的方法,將一定濃度的正硅酸乙酯乙醇溶液緩慢滴加到氨水、乙醇和去離子水的混合溶液中,在恒溫水浴下振蕩4h,就能夠獲得尺寸可控的單分散S⒑2納米球顆粒(粒徑可控制在⒛0nm左右)。然后采用靜電自組裝等方法可將制各的單分散sio2納米球顆粒規(guī)則地自組裝在藍(lán)寶石襯底表面。自組裝納米層技術(shù)制備納米圖形化藍(lán)寶石表面的關(guān)鍵過程是自組織膜的形成。

   自組裝技術(shù)是在無人為干涉條件下,組元自發(fā)地組織成一定形狀與結(jié)構(gòu)的過程。它一般是利用利用非共價作用將組元(如分子、納米晶體等)組織起來,這些非共價作用包括氫鍵、范德華力、靜電力等。通過選擇合適的化學(xué)反應(yīng)條件,有序的納米結(jié)構(gòu)材料能夠通

過簡單地自組裝過程而形成。

   激光全息技術(shù)

   納米壓印技術(shù)和自裝納米層技術(shù)工藝都較為復(fù)雜,不利于大規(guī)模的I業(yè)化生產(chǎn)。激光全息技術(shù)是利用全息光柵取代光刻技術(shù)中的掩膜,根據(jù)三個全息光柵的一級衍射光相互干涉,在光刻膠上表面形成相應(yīng)的周期性圖形形成二維光子晶體,其光學(xué)系統(tǒng)示意圖。具體工藝為:首先在藍(lán)寶石襯底表面用甩膠機(jī)涂覆一層光刻膠,的全息光學(xué)系統(tǒng)在光刻膠上曝光,制作光子晶體圖形。全息光學(xué)元件由三個兩兩夾角為1⒛°具有相同周期的光柵組成,其衍射光相互干涉形成二維六角圖形。通過控制全息光柵上的周期可以獲得所需晶格常數(shù)的二維六角晶格圖形。利用激光全息技術(shù)可以非常方便地在藍(lán)寶石襯底表面制備不同周期的二維圖形,且全息光柵的面積決定了一次曝光所制作的二維結(jié)構(gòu)圖形的面積,十分有利于實現(xiàn)工業(yè)化的低成本、大批量制作。