電子槍發(fā)射電子,經(jīng)過(guò)聚焦后轟擊在樣品表面,激發(fā)出二次電子。二次電子的信號(hào)強(qiáng)度隨樣品表面特征而變,掃描系統(tǒng)在控制電子束掃描樣品表面的同時(shí),控制顯示器的陰極射線管電子束在熒光屏上作同步掃描。SA5532AD二次電子的信號(hào)經(jīng)檢測(cè)放大后作為調(diào)制信號(hào),同步調(diào)制陰極射線管的電子束強(qiáng)度,在熒光屏上獲得能反映樣品表面特征的掃描圖像。

    sEM構(gòu)造

   掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng),掃描系統(tǒng),信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng),圖像顯示和記錄系統(tǒng),電源系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等部分組成。

   電子光學(xué)系統(tǒng):由電子槍,電磁聚光鏡,光闌.樣品室等部件組成。它的功能是獲得掃描電子束,作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源c為了獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和掃描像(尤其是工次電子像)分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。場(chǎng)發(fā)射電子槍可提供最小的電子源直徑(約5nm)和最高的亮度(lO8~l09A/cm2・sr),是高分辨率掃描電鏡的理想電子源。用二次電子成像時(shí),掃描電鏡所能達(dá)到的分辨率極限就是樣品表面束斑的直徑。電磁聚光鏡把電子槍發(fā)射的電子束進(jìn)一步縮小,可以實(shí)現(xiàn)更高的分辨率,已經(jīng)可以達(dá)到1A。