電子槍發(fā)射電子,經(jīng)過(guò)聚焦后轟擊在樣品表面,激發(fā)出二次電子。二次電子的信號(hào)強(qiáng)度隨樣品表面特征而變,掃描系統(tǒng)在控制電子束掃描樣品表面的同時(shí),控制顯示器的陰極射線管電子束在熒光屏上作同步掃描。KA278RA05CTU二次電子的信號(hào)經(jīng)檢測(cè)放大后作為調(diào)制信號(hào),同步調(diào)制陰極射線管的電子束強(qiáng)度,在熒光屏上獲得能反映樣品表面特征的掃描圖像。

   掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng),掃描系統(tǒng),信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng),圖像顯示和記錄系統(tǒng),電源系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等部分組成。

  電子光學(xué)系統(tǒng):由電子槍,電磁聚光鏡,光闌.樣品室等部件組成。它的功能是獲得掃描電子束,作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源c為了獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和掃描像(尤其是工次電子像)分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。場(chǎng)發(fā)射電子槍可提供最小的電子源直徑(約5nm)和最高的亮度(lO8~l09A/cm2・sr),是高分辨率掃描電鏡的理想電子源。用二次電子成像時(shí),掃描電鏡所能達(dá)到的分辨率極限就是樣品表面束斑的直徑。電磁聚光鏡把電子槍發(fā)射的電子束進(jìn)一步縮小,可以實(shí)現(xiàn)更高的分辨率,已經(jīng)可以達(dá)到1A。

   圖像屁示和記錄系統(tǒng):把信號(hào)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)輸出的調(diào)制信號(hào).轉(zhuǎn)換為在陰極射線管熒 光屏上顯示的樣品表面某種特征的掃描圖像。目前電子計(jì)算機(jī)在此領(lǐng)域的應(yīng)用非常深人廣 泛,掃描圖像保存在電腦磁盤中.還可以利用各種專業(yè)軟件對(duì)圖像進(jìn)行所需的分析處理。

    真空系統(tǒng):其作用是建立起確保電子光學(xué)系統(tǒng)正常△作、防止樣品污染所必需的 真空度,安裝了冷場(chǎng)發(fā)射電子槍的掃描電鏡其燈絲部分已達(dá)到10′Pa的真空度。

   電源系統(tǒng):由穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路組成,提供掃描電鏡各部分所需要 的電源。

   掃描系統(tǒng):其作用是提供入射電子束在樣品表面以及陰極射線管電子束在熒光屏的同步掃描信號(hào)。改變?nèi)松潆娮邮跇悠繁砻娴膾呙枵穹?以獲得所需放大倍數(shù)的掃描像。它由掃描信號(hào)發(fā)生器、放大控制器等電子學(xué)線路和相應(yīng)的掃描線圈組成。

   信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng):其作用是檢測(cè)樣品在人射電子作用下產(chǎn)△的物理信號(hào),然后經(jīng)視頻放大,作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號(hào)。通常用閃爍計(jì)數(shù)器來(lái)檢測(cè)二次點(diǎn)子、背散射電子等信號(hào),它由閃爍體、光導(dǎo)管、光電倍增器等組成。當(dāng)信號(hào)電子撞擊并進(jìn)人閃爍體時(shí)引起電離,當(dāng)離子與白由電子復(fù)合時(shí),產(chǎn)生可見光信號(hào)沿光導(dǎo)管送到光電倍增器進(jìn)行放大,輸出電信號(hào)經(jīng)視頻放大器放大后作為調(diào)制信號(hào)。這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在很寬的信號(hào)范圍內(nèi)具有正比于原始信號(hào)的輸出,具有很寬的頻帶和高的增益,而昆噪音很小。