試驗(yàn)方法與技術(shù)

   在GJB 548中,內(nèi)部氣體成分分析分為破壞性試驗(yàn)(程序1質(zhì)譜分析法和程序2載體氣體收集法)和非破壞性試驗(yàn)(程序3)。程序l所用的設(shè)備昂貴,但測(cè)試靈敏度最高, M12L16161A-5TG測(cè)試體積范圍寬;程序2和程序3所用的設(shè)備靈敏度相對(duì)偏低,對(duì)測(cè)試小體積封裝或低水汽含量較困難,同時(shí)受傳感器表面狀態(tài)及環(huán)境污染的影響較大。

   質(zhì)譜分析法

   試驗(yàn)程序1屬于破壞性試驗(yàn),是利用質(zhì)譜分析法來(lái)測(cè)定器件內(nèi)部氣氛含量的,其工作原理是將樣品刺穿后利用壓力差將器件內(nèi)部氣體抽入真空腔中,并對(duì)抽入的氣體進(jìn)行電離。不同質(zhì)荷比(〃虍)的離子經(jīng)加速電場(chǎng)的作用形成離子束,進(jìn)入質(zhì)量分析器,在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的綜合作用下,聚焦在不同的點(diǎn)上,按質(zhì)荷比大小得到質(zhì)譜圖,通過(guò)計(jì)算機(jī)將測(cè)得的質(zhì)譜與己知的質(zhì)譜庫(kù)進(jìn)行對(duì)比篩選計(jì)算,從而得到水汽和其他氣體的體積百分比含量。

   試驗(yàn)設(shè)備

   試驗(yàn)程序1的設(shè)備主要包括:

   (1)l臺(tái)高靈敏度的質(zhì)譜儀;

   (2)1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)濕度(水汽)發(fā)生器,精度要求達(dá)到±10%;

   (3)I個(gè)濕度露點(diǎn)校準(zhǔn)器;

   (4)多個(gè)不同封裝體積的校準(zhǔn)模擬器,體積精度為±10%;

   (5)高真空度生成系統(tǒng)及取樣和傳遞通道,一般要求達(dá)到10:toⅡ,并保持溫度在125℃±5°C;

   (6)l套刺穿裝置及樣品加溫裝置(≥100℃)等。

   設(shè)備性能指標(biāo)的要求如下:

   (1)測(cè)試精度:必須達(dá)到±10%。

   (2)靈敏度:對(duì)給定的封裝再現(xiàn)地檢測(cè)出規(guī)定的水汽含量,其精度為20∶1。即對(duì)于0。lcm3,允許水汽含量為0.5%(50OOppm)。質(zhì)譜儀應(yīng)具有檢測(cè)出0,01cm3封裝體積內(nèi)水汽含量小于0.Ⅱ5%(250ppm)的最小檢測(cè)精度。

   (3)譜范圍:質(zhì)譜儀可以讀取到的最小譜范圍應(yīng)在I~1oo原子質(zhì)量單位(AMus)。