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0.55數(shù)值孔徑的EUV光刻機AlN和梯度AlGaN緩沖層技術(shù)

發(fā)布時間:2022/1/23 18:09:05 訪問次數(shù):210

由于EUV光刻系統(tǒng)中使用的極紫外光波長（13nm）相比DUV 浸入式光刻系統(tǒng)（193 nm）有著顯著降低，多圖案 DUV 步驟可以用單次曝光 EUV 步驟代替�？梢詭椭酒圃焐汤^續(xù)向7nm及以下更先進制程工藝推進的同時，進一步提升效率和降低曝光成本。

自2017年ASML的第一臺量產(chǎn)的EUV光刻機正式推出以來,三星的7nm/5nm工藝,臺積電的第二代7nm工藝和5nm工藝的量產(chǎn)都是依賴于0.55數(shù)值孔徑的EUV光刻機來進行生產(chǎn)。

3/2nm工藝的實現(xiàn)則需要依賴于ASML新一代的高數(shù)值孔徑 (High-NA) EUV光刻機EXE:5000系列。

燈具鎮(zhèn)流器應(yīng)用產(chǎn)品量身定做的一個新的微控制器系列。這些設(shè)備是根據(jù)燈具鎮(zhèn)流器市場主要經(jīng)營者的需要設(shè)計的。他們將主要適用于不同類型的鎮(zhèn)流器應(yīng)用產(chǎn)品，其中包括擁有一個或者多個熒光管的產(chǎn)品、帶有 DALI 控制的系統(tǒng)和 HID 照明設(shè)備（例如背投顯示系統(tǒng)或車輛的頭燈）。

一旦采用 Atmel 的微控制器，熒光和 HID 燈具鎮(zhèn)流器應(yīng)用產(chǎn)品就會顯現(xiàn)出相對于當前可用的解決方案來說更好的性能、靈活性和成本優(yōu)勢。


Atmel 的 AT90PWMx AVR(R) 微控制器支持調(diào)光式熒光和 HID 鎮(zhèn)流器產(chǎn)品。

在SiC襯底上采用AlN和梯度AlGaN緩沖層技術(shù),進行GaN基藍光LED全結(jié)構(gòu)生長,獲得高效的藍光外延片。

進一步，采用藍光芯片加YAG熒光粉制備了白光LED芯片，其測試結(jié)果顯示基于SiC襯底得到的白光LED光效達131lm/W，處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。

整流器具有1.27-mm間距1.9-mm的高度，能夠采用波峰焊安裝在密集的電信板卡的邊緣。同時沒有電線接頭會降低電感。

小型電子產(chǎn)品包括:手機/智能手機,MP3音樂播放器,醫(yī)療測試設(shè)備,條形碼掃描器,PDA和筆記本電腦。


(素材來源：轉(zhuǎn)載自網(wǎng)絡(luò),如涉版權(quán)請聯(lián)系刪除,特別感謝）

由于EUV光刻系統(tǒng)中使用的極紫外光波長（13nm）相比DUV 浸入式光刻系統(tǒng)（193 nm）有著顯著降低，多圖案 DUV 步驟可以用單次曝光 EUV 步驟代替�？梢詭椭酒圃焐汤^續(xù)向7nm及以下更先進制程工藝推進的同時，進一步提升效率和降低曝光成本。

自2017年ASML的第一臺量產(chǎn)的EUV光刻機正式推出以來,三星的7nm/5nm工藝,臺積電的第二代7nm工藝和5nm工藝的量產(chǎn)都是依賴于0.55數(shù)值孔徑的EUV光刻機來進行生產(chǎn)。

3/2nm工藝的實現(xiàn)則需要依賴于ASML新一代的高數(shù)值孔徑 (High-NA) EUV光刻機EXE:5000系列。

燈具鎮(zhèn)流器應(yīng)用產(chǎn)品量身定做的一個新的微控制器系列。這些設(shè)備是根據(jù)燈具鎮(zhèn)流器市場主要經(jīng)營者的需要設(shè)計的。他們將主要適用于不同類型的鎮(zhèn)流器應(yīng)用產(chǎn)品，其中包括擁有一個或者多個熒光管的產(chǎn)品、帶有 DALI 控制的系統(tǒng)和 HID 照明設(shè)備（例如背投顯示系統(tǒng)或車輛的頭燈）。

一旦采用 Atmel 的微控制器，熒光和 HID 燈具鎮(zhèn)流器應(yīng)用產(chǎn)品就會顯現(xiàn)出相對于當前可用的解決方案來說更好的性能、靈活性和成本優(yōu)勢。


Atmel 的 AT90PWMx AVR(R) 微控制器支持調(diào)光式熒光和 HID 鎮(zhèn)流器產(chǎn)品。

在SiC襯底上采用AlN和梯度AlGaN緩沖層技術(shù),進行GaN基藍光LED全結(jié)構(gòu)生長,獲得高效的藍光外延片。

進一步，采用藍光芯片加YAG熒光粉制備了白光LED芯片，其測試結(jié)果顯示基于SiC襯底得到的白光LED光效達131lm/W，處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。

整流器具有1.27-mm間距1.9-mm的高度，能夠采用波峰焊安裝在密集的電信板卡的邊緣。同時沒有電線接頭會降低電感。

小型電子產(chǎn)品包括:手機/智能手機,MP3音樂播放器,醫(yī)療測試設(shè)備,條形碼掃描器,PDA和筆記本電腦。


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