設(shè)計(jì)規(guī)則
發(fā)布時(shí)間:2012/4/22 17:01:59 訪問次數(shù):574
在設(shè)計(jì)時(shí),對于輸入、輸出端口,必須遵循KA3843一定的ESD規(guī)則。例如,在靠近柵的漏端容易產(chǎn)生ESD功率耗散。在ESD發(fā)生時(shí),這一區(qū)域變成一個(gè)熱源,并且可以擴(kuò)散到接觸孔。如果接觸孔到結(jié)的距離不是足夠大,接觸孔將會(huì)出現(xiàn)尖峰( spi-king)。輸出NMOS晶體管的設(shè)計(jì)將遵循以下規(guī)則:
①在漏端,N+結(jié)邊緣到到接觸孔的距離(A)應(yīng)該大于5ym。
②在漏端的接觸孔下面加入N阱,由于N阱的結(jié)深比N+結(jié)深,所以避免了從接觸孔到襯底的尖鋒( spiking)。
附加掩膜
在通常CMOS工藝中,淀積完P(guān)oly后進(jìn)行LDD注入,在LDD注入之后生長Spacer(=氧化硅或氮化硅),然后再進(jìn)行S、D注入,由于Spacer的阻擋作用,形成了LDD結(jié)構(gòu)。LDD結(jié)構(gòu)雖然改進(jìn)了熱載流子效應(yīng),但對提高抗ESD能力是非常不利的。
加入ESD版可以改進(jìn)N管的抗ESD能力。其具體做法是在LDD工藝之后加一層ESD注入以提高原LDD區(qū)域的濃度,形成HDD,之后再生長Spacer,生長S、D。
在設(shè)計(jì)時(shí),對于輸入、輸出端口,必須遵循KA3843一定的ESD規(guī)則。例如,在靠近柵的漏端容易產(chǎn)生ESD功率耗散。在ESD發(fā)生時(shí),這一區(qū)域變成一個(gè)熱源,并且可以擴(kuò)散到接觸孔。如果接觸孔到結(jié)的距離不是足夠大,接觸孔將會(huì)出現(xiàn)尖峰( spi-king)。輸出NMOS晶體管的設(shè)計(jì)將遵循以下規(guī)則:
①在漏端,N+結(jié)邊緣到到接觸孔的距離(A)應(yīng)該大于5ym。
②在漏端的接觸孔下面加入N阱,由于N阱的結(jié)深比N+結(jié)深,所以避免了從接觸孔到襯底的尖鋒( spiking)。
附加掩膜
在通常CMOS工藝中,淀積完P(guān)oly后進(jìn)行LDD注入,在LDD注入之后生長Spacer(=氧化硅或氮化硅),然后再進(jìn)行S、D注入,由于Spacer的阻擋作用,形成了LDD結(jié)構(gòu)。LDD結(jié)構(gòu)雖然改進(jìn)了熱載流子效應(yīng),但對提高抗ESD能力是非常不利的。
加入ESD版可以改進(jìn)N管的抗ESD能力。其具體做法是在LDD工藝之后加一層ESD注入以提高原LDD區(qū)域的濃度,形成HDD,之后再生長Spacer,生長S、D。
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