超聲波輔助進行的清洗和浸洗：在化學品清洗池或水沖洗系統(tǒng)中，RT9169-33PV額外超聲波振動幫助并加速濕法工藝的進行（見圖5. 32）。使用超聲波可以提高清洗效率從而允許較低槽溫。超聲波是由

清洗槽外部安裝的變頻器產(chǎn)生的能量波。通常使用兩個波段。在20 000—50 000 Hz（1Hz=每秒一個周期）范圍的叫超聲波( ultrasonic)，在850 kHz范圍的波段稱為兆頻超聲( megasonic)波【41。超變頻器聲波是通過蒸氣旋渦來輔助沖洗的。振動在液體中形成極微小的氣泡，這些氣泡快速地破裂而產(chǎn)生極微小的擦洗動作，從而除去顆粒。這一現(xiàn)象稱為氣渦。兆頻超聲波的輔助作用是通過另外一種機理來實現(xiàn)的。依據(jù)流體力學，固體表面與液體之間有一個靜止或緩慢移動的界面，例如晶圓的表面。小的顆粒可被保持在這層界面中而不會接觸化學清洗液。兆頻超聲波

的能量可以消除這一界面，從而使顆粒得以清洗。另外，一種稱為聲流( acoustic streaming)酌現(xiàn)象使得水或清洗液流過晶圓的速度加快，從而提高清洗效率42l。