二氧化硅的摻雜可以改善相應(yīng)的保護特性和流動性，或者用來作為摻雜源。HDMP-1032AG最早用于淀積氧化物的摻雜劑是磷。磷源來自于加入淀積氣體流中的磷烷。合成的玻璃稱為磷硅玻璃或PSG,，在玻璃內(nèi)部，磷以五氧化二磷(P20，)的形式存在，使得該玻璃成為重化合物，或更精確地說，是二元玻璃。

   磷的作用有j重。加入的摻雜劑增加了玻璃對濕氣的阻擋特性；可動離子污染物質(zhì)被磷吸附，防止進入晶圓的表面，該反應(yīng)稱為“吸雜”( gettering)；第i個方面是流動特性的提高見圖12.39），有助于在加熱到1000℃左右時，玻璃表面的平坦化。磷的含量限制在大約8%（質(zhì)量比）。高于這一水平，玻璃變得吸水和吸濕。濕氣能夠與磷反應(yīng)，形成磷酸，侵襲下面的金屬線。

   硼也經(jīng)常通過使用硼烷(B，H6)而添加到玻璃中．、硼的作用也是增強膜的流動性（見圖12. 39）。合成玻璃稱為硼玻璃(BSG)，硼和磷也經(jīng)常同時用于玻璃中，合成結(jié)果為硼磷玻璃( BPSG)。