氧化硅和氮化硅在晶圓表面呈現(xiàn)不同的顏色。眾所周知，二氧化硅是透明的（玻璃是二氧化硅），但有氧化膜的晶圓卻是有顏色的。IRF250N事實(shí)上我們所看到的顏色源于干涉現(xiàn)象，與雨后出現(xiàn)彩虹的原理相同。

   實(shí)際卜，硅晶圓上的二氧化硅層是反射型襯底上的層透明薄膜。，當(dāng)有光線入射時(shí)，一部分照射到晶圓表面的光線被氧化物表面反射回來，而另一部分則穿過透臼明的氧化層在襯底表面發(fā)生反射（見圖14.7）。當(dāng)光線從氧化膜中出來時(shí)與晶圓表面的反射光線匯合，就使晶圓表面像有顏色一樣：、這個(gè)現(xiàn)象就是為什么當(dāng)我們所看晶圓的角度改變時(shí)，有氧化層的晶圓的顏色也會(huì)發(fā)生改變的緣故。

   晶圓準(zhǔn)確的顏色由3個(gè)因素決定。第一個(gè)因素就是透明鍍膜材料的特性——反射系數(shù)( index of refreaction)；第一：個(gè)因素是視角( viewlng angle)；第三個(gè)因素是鍍膜的厚度(thickness【，f the film)。當(dāng)入射光特性（例如，日光、熒光）和觀察角度一定時(shí)，透明膜的顏色就成為膜厚的一個(gè)標(biāo)志．圖14.8是典型顏色與厚度的對(duì)應(yīng)關(guān)系，表明了在氧化和擴(kuò)散過程中顏色與厚度交化的規(guī)律特性，、但由于干涉現(xiàn)象的結(jié)果，單獨(dú)的顏色分類并不能準(zhǔn)確反映鍍膜的厚度。