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非本征單片式IR-CCD

發(fā)布時間:2016/1/31 19:08:40 訪問次數(shù):509

   它利用非本征材料作光敏部分,然后MAX4335EXT-T轉(zhuǎn)移送給同一芯片上的CCD。這類器件所用的材料主要有非本征硅和非本征鍺。如在硅中摻磷、鎵、銦等,用離子注入法在所需的光敏區(qū)摻入雜質(zhì)并工作在合適的溫度下,使雜質(zhì)處于未電離狀態(tài)。當(dāng)受到紅外輻射作用時,雜質(zhì)將電離,光生載流子被送入有排泄或抗彌散的二極管存儲區(qū)。如果采用背景減除電路,就能夠取出疊加在固定背景上的小信號,達(dá)到探測目的。

   原則上講,摻雜不同就可以得到對應(yīng)不同輻射波長響應(yīng)的探測器。實際上由于大多數(shù)有用的雜質(zhì)在基質(zhì)半導(dǎo)體的晶格中因溶度低,使得其靈敏度很低。目前用于三個大氣窗口的非本征硅大致上為:第一和第二個窗口可用In、S和Tl摻雜。但S的固溶度低,擴(kuò)散快,可能導(dǎo)致外延層污染。Tl比較合適,但只適用于3.4—4.2 Wn。第三個窗口的摻雜劑主要是Ga,而Mg雜質(zhì)由于存在一個0.04 eV淺能級,故需要補(bǔ)償才有希望作為長波長探測器材料。

   由于非本征硅光電導(dǎo)材料在低溫下的電阻率高,因而能用來做積累式CCD的襯底。在積累模式MIS結(jié)枸中,柵極是加偏壓的,因而多數(shù)載流子就沿絕和半導(dǎo)體界而存儲和轉(zhuǎn)移,這時在柵下形成了局部勢阱。但在電荷轉(zhuǎn)移的動力學(xué)過程上與普通可見光CCD的反型模式有很大差別。因為在積累式器件中,橫向電場一直延伸到背面電極,而不像反型模式的橫向電場只限制在耗盡區(qū)。

   它利用非本征材料作光敏部分,然后MAX4335EXT-T轉(zhuǎn)移送給同一芯片上的CCD。這類器件所用的材料主要有非本征硅和非本征鍺。如在硅中摻磷、鎵、銦等,用離子注入法在所需的光敏區(qū)摻入雜質(zhì)并工作在合適的溫度下,使雜質(zhì)處于未電離狀態(tài)。當(dāng)受到紅外輻射作用時,雜質(zhì)將電離,光生載流子被送入有排泄或抗彌散的二極管存儲區(qū)。如果采用背景減除電路,就能夠取出疊加在固定背景上的小信號,達(dá)到探測目的。

   原則上講,摻雜不同就可以得到對應(yīng)不同輻射波長響應(yīng)的探測器。實際上由于大多數(shù)有用的雜質(zhì)在基質(zhì)半導(dǎo)體的晶格中因溶度低,使得其靈敏度很低。目前用于三個大氣窗口的非本征硅大致上為:第一和第二個窗口可用In、S和Tl摻雜。但S的固溶度低,擴(kuò)散快,可能導(dǎo)致外延層污染。Tl比較合適,但只適用于3.4—4.2 Wn。第三個窗口的摻雜劑主要是Ga,而Mg雜質(zhì)由于存在一個0.04 eV淺能級,故需要補(bǔ)償才有希望作為長波長探測器材料。

   由于非本征硅光電導(dǎo)材料在低溫下的電阻率高,因而能用來做積累式CCD的襯底。在積累模式MIS結(jié)枸中,柵極是加偏壓的,因而多數(shù)載流子就沿絕和半導(dǎo)體界而存儲和轉(zhuǎn)移,這時在柵下形成了局部勢阱。但在電荷轉(zhuǎn)移的動力學(xué)過程上與普通可見光CCD的反型模式有很大差別。因為在積累式器件中,橫向電場一直延伸到背面電極,而不像反型模式的橫向電場只限制在耗盡區(qū)

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