在制造工廠中,用于刻蝕和清洗晶圓和設(shè)備的酸、堿、溶劑必須是最高純度的。OP249GP涉及的污染物有金屬離子微粒和其他化學(xué)品。與水不同的是,工藝化學(xué)品是采購(gòu)來(lái)的,直接運(yùn)輸?shù)焦S后使用。工業(yè)化學(xué)品分不同級(jí)別,它們分一般溶劑、化學(xué)試劑、電子級(jí)和半導(dǎo)體級(jí)。前兩種對(duì)于半導(dǎo)體使用來(lái)說(shuō)過(guò)臟,電子級(jí)與半導(dǎo)體級(jí)相對(duì)潔凈些,但不同制造商所生產(chǎn)化學(xué)品的潔凈度也是不同的。類似sEMI這樣的商業(yè)組織為整個(gè)行業(yè)建立了潔凈度的規(guī)格,但是大多數(shù)半導(dǎo) 體廠按照自己內(nèi)部的規(guī)格采購(gòu)化學(xué)品。化學(xué)品的主要污染是移動(dòng)的金屬離子,通常須限制為百分之一(PPM)級(jí)或更低。一些供應(yīng)商可制造MIC級(jí)的化學(xué)品,含量?jī)H僅為十億分之一。微粒過(guò)濾器的級(jí)別被規(guī)定為0,2um或更低。

   化學(xué)品的純度由成分來(lái)表示。成分?jǐn)?shù)就是指容器內(nèi)所含化學(xué)品的百分?jǐn)?shù)。例如,一瓶99.9%的硫酸表示含有99.9%的純硫酸和0.01%的其他溶液。把化學(xué)品傳輸至工藝加工區(qū)域不只要求保持化學(xué)品的潔凈,還包括對(duì)容器內(nèi)表面的清潔、使用不易溶解的材質(zhì)的容器、不產(chǎn)生微粒的標(biāo)志牌,并在運(yùn)輸前把瓶放置化學(xué)品袋中。