或非門壽命時(shí)間計(jì)算

   Relpro+TM軟件所用的熱載流子注入效應(yīng)模型方程,t是計(jì)算出的壽命;fr是比例常數(shù);〃AD8031ARZ是溝道寬度;刀是指數(shù)因子;昭是指數(shù)因子;⒛是退化量。退化量是指閾值電壓漂移、跨導(dǎo)、線性區(qū)漏極電流、飽和漏極電流的退化量。指數(shù)因子刀和昭由Relpro+TM進(jìn)行提取,JDs、凡山、幾分別是應(yīng)力作用期間的漏極電流、襯底電流和柵極電流。

   Rclpro+W提取的3個(gè)參數(shù)分別是nno、H0和mo,這對應(yīng)著上述模型的刀、Ⅳ和昭。在提取過程完成之后,這些值將會(huì)被提取出來的值更新。在應(yīng)力作用下,不僅器件的漏極電流、襯底電流會(huì)退化,閾值電壓、跨導(dǎo)、線性區(qū)漏極電流、飽和區(qū)漏極電流也會(huì)退化。表10.11中所列數(shù)據(jù)是或非門電路中的blMOs管在漏極應(yīng)力電壓為7.2V且柵極應(yīng)力電壓為2,8V時(shí),器件參數(shù)隨應(yīng)力時(shí)間的退化數(shù)據(jù)。

Rclpro+TM軟件在測量過程式中,將每一次的退化數(shù)據(jù)以文本格式進(jìn)行保存。

   表1011 應(yīng)力作用下或非門NM0s器件參數(shù)的退化