柵極加上負(fù)偏置應(yīng)力電壓,電壓值DSEE55-24N1F的大小由斜坡電壓確定,該負(fù)柵偏置應(yīng)力電壓一般應(yīng)大于最高工作電壓‰slllax,小于1,5倍的其他各極接地,避兔過(guò)量的隧穿應(yīng)力,如圖l1.15所示。

   在最高工作溫度下進(jìn)行測(cè)試(如125℃),應(yīng)力測(cè)試期間,溫度的穩(wěn)定度要達(dá)到±2℃,當(dāng)需要測(cè)量激活能時(shí),可以采用更高一些的溫度。多次應(yīng)力循環(huán)測(cè)量時(shí),時(shí)間的準(zhǔn)確度要達(dá)到圭1%。應(yīng)力循環(huán)測(cè)量期間,中間測(cè)量的時(shí)間必須最少。

   高溫下,只在柵極施加應(yīng)力,源極、漏極和襯底均接地。以閾值電壓的漂移量作為器件退化的失效判據(jù)。

   負(fù)偏置溫度不穩(wěn)定性(NBTI)壩刂試。用于測(cè)量高溫和負(fù)柵偏置條件下閾值電壓的退化,這種退化特別容易發(fā)生在具有2層多晶工的PMOs器件中,隨著溫度的上升而增加。在具有特征尺寸的器件上進(jìn)行測(cè)試時(shí),需要注意的是,這種退化方式一定程度上會(huì)受到溝道長(zhǎng)度的影響。blBTI效應(yīng)的測(cè)量方法如表11.15所示。