正裝結(jié)構(gòu)設(shè)計及制各工藝
發(fā)布時間:2016/8/5 19:47:13 訪問次數(shù):591
LED行業(yè)目前大規(guī)模生產(chǎn)的藍綠光LED芯片,通常是使用金屬有機化學(xué)氣相沉積機臺(MOCVD)在藍寶石襯底上生長GaN層形成GaN外延片, J430BNRB1并通過復(fù)雜的芯片制程將外延片加工成單顆LED芯片。因藍寶石襯底是非導(dǎo)電材料,一般都會采用干法蝕刻技術(shù)在GaN面同時制作P、N雙電極,即雙電極同側(cè)結(jié)構(gòu)。此結(jié)構(gòu)因出光面不同又分為正裝結(jié)構(gòu)和倒裝結(jié)構(gòu)。正裝結(jié)構(gòu)從GaN面(正面)出光,而倒裝結(jié)構(gòu)從藍寶石面(背面)出光。
本節(jié)重點講述正裝芯片結(jié)構(gòu),正裝芯片有多種分類方式,可以按照發(fā)光顏色、芯片功率、應(yīng)用范圍等進行分類。為更好闡述芯片結(jié)構(gòu),本書根據(jù)芯片功率將正裝芯片分為小功率芯片、中功率芯片、大功率芯片三類。一般地,按功率分類可以參考表⒋2。(目前LED
行業(yè)對3種功率芯片并沒有嚴格定義,下表僅供參考。)
LED行業(yè)目前大規(guī)模生產(chǎn)的藍綠光LED芯片,通常是使用金屬有機化學(xué)氣相沉積機臺(MOCVD)在藍寶石襯底上生長GaN層形成GaN外延片, J430BNRB1并通過復(fù)雜的芯片制程將外延片加工成單顆LED芯片。因藍寶石襯底是非導(dǎo)電材料,一般都會采用干法蝕刻技術(shù)在GaN面同時制作P、N雙電極,即雙電極同側(cè)結(jié)構(gòu)。此結(jié)構(gòu)因出光面不同又分為正裝結(jié)構(gòu)和倒裝結(jié)構(gòu)。正裝結(jié)構(gòu)從GaN面(正面)出光,而倒裝結(jié)構(gòu)從藍寶石面(背面)出光。
本節(jié)重點講述正裝芯片結(jié)構(gòu),正裝芯片有多種分類方式,可以按照發(fā)光顏色、芯片功率、應(yīng)用范圍等進行分類。為更好闡述芯片結(jié)構(gòu),本書根據(jù)芯片功率將正裝芯片分為小功率芯片、中功率芯片、大功率芯片三類。一般地,按功率分類可以參考表⒋2。(目前LED
行業(yè)對3種功率芯片并沒有嚴格定義,下表僅供參考。)
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