對(duì)GaN材料的粗化主要有濕法粗化和干法粗化兩種方式。濕法粗化的原理主要是利用酸或堿對(duì)GaN的腐蝕作用,從而留下粗糙的表

面。EP1C12Q240I7N濕法粗化所用溶液主要有熱磷酸(H`o4)和熱氫氧化鉀(KoH)等。對(duì)于N極性GaN和Ga極性GaN具有不同的腐蝕機(jī)制,以KoH溶液為例,由于極性的不同,C・aN在KoH溶液中腐蝕一段時(shí)間,N極性GaN表面會(huì)形成六角錐,從而露出(10了T)面,Ga極性GaN表面卻沒(méi)有明顯變化⒓釗,如圖5-14所示。當(dāng)Ga極性表面存在缺陷,且達(dá)到一定溫度時(shí),KoH和磷酸溶液會(huì)在其表面留下六邊形的腐蝕坑⒓劍。 P Ⅵs∞nti、X。Xu等研究組u-2習(xí)認(rèn)為與位錯(cuò)強(qiáng)烈相關(guān)。