提高光提取效率的另一方法是表面粗化,即通過對(duì)LED的表面進(jìn)行粗糙化,使其表面粗糙度提高,降低表面的鏡面反射率,從而提高光的出射率。JST2N60U表面粗化可以分為規(guī)則圖形和不規(guī)則圖形。很多人對(duì)粗糙表面的反射做了研究,并且提出了很多研究表面粗糙度的理論,其主要差別在于被采用的表面輪廓的類型。粗化形狀有很多種,如圓錐狀、圓柱狀、球面狀、多面狀、不規(guī)則狀等,粗化的方式有濕法腐蝕和干法刻蝕,如電子束曝光技術(shù)制作光子晶體LED、金屬納米級(jí)顆粒掩膜、Ps-PMMA高分子納米掩膜等l°s~剁。目前,LED表面粗化技術(shù)己被廣泛地應(yīng)用在商業(yè)化的產(chǎn)品中,如圖⒍17所示,是鼎元光電科技股份有限公司報(bào)道的三棱柱形表面粗化大功率LED示意圖。

   對(duì)轉(zhuǎn)移襯底AlGaInP LED的n面進(jìn)行粗化也是提高LED出光效率的一種途徑,如圖⒍18所示,在粗化后的表面制備一層ITo導(dǎo)電透光薄膜,既增加了光子的出射,同時(shí)增強(qiáng)了電流擴(kuò)展,使器件的電學(xué)一光學(xué)特性同時(shí)得到了改善。粗化LED在1501mA下輸出光功率達(dá)到33mW,如圖⒍18(b)所示卩q。圖⒍19顯示提高AlGaInP LED出光效率的幾種典型的方式,其中,表面粗化技術(shù)在p面出光和n面出光的器件中都有廣泛的應(yīng)用。