集成電路工藝是一種超精細加工I藝,目前工藝特征尺寸已進人納米量級,因此對I藝環(huán)境、使NAND128W3A2BN6F用原材料的要求非常高。而芯片I藝的一次循環(huán)就可以制造出大量芯片產(chǎn)品的特性,使得集成電路工藝具有高可靠、高質(zhì)量、低成本的優(yōu)勢,從而其應(yīng)用范圍也就比較廣泛。

   集成電路芯片的特征尺寸已在深亞微米量級,在芯片的關(guān)鍵部位若有1um甚至更小的塵粒,都會對芯片性能產(chǎn)生很大影響,甚至導(dǎo)致其功能失效。所以,芯片工藝對環(huán)境要求嚴格,是一種超凈工藝,即集成電路芯片必須在超凈環(huán)境下生產(chǎn)。

   超凈工藝完成場所可以是超凈I作臺、超凈工作室、超凈I作線,一般用“超凈室”來概括。超凈室是指一定空間范圍內(nèi),室內(nèi)空氣中的微粒、有害氣體、細菌等污染物被排除,其溫度、潔凈度、力、氣流速度與氣流分布、噪聲振動及照明、靜電等被控制在某一范圍內(nèi)的△作環(huán)境。無論室外空氣條件如何變化,室內(nèi)均能維持原設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等特性。超凈室結(jié)構(gòu)和運行原理如圖0-5所示。達到目標溫度和濕度的空氣,經(jīng)增壓室增壓,通過天花板的過濾器過濾進人室內(nèi),再以適當角度并以層流方式流向超凈室地板,在負壓作用下通過地板或從地板四周流出超凈室,再經(jīng)氣道回到位于天花板上層的氣體處理室。在氣體處理室,廢氣被直接提取、分離后處理、排除。而處理過的循環(huán)氣體與一定溫度和濕度的新鮮空氣混合,再送到位于天花板上層的壓力室,進行下一輪循環(huán)。