建立襯底表面反應(yīng)劑的輸運(yùn)機(jī)制模型,如圖76所示,常壓和低壓兩種淀積情況時(shí)的輸運(yùn)機(jī)制有所不同。OP07DN在上述分析中對(duì)反應(yīng)劑穿越邊界層情況進(jìn)行了介紹,即圖76(a)和(b)中的①所示。而反應(yīng)劑系統(tǒng)和淀積薄膜材料本身對(duì)襯底表面反應(yīng)劑濃度也有影響。反 應(yīng)劑到達(dá)襯底表面后可能未被吸附,存在再發(fā)射或表面遷移現(xiàn)象。再發(fā)射和表面遷移現(xiàn)象對(duì)襯底臺(tái)階覆蓋有利。不同的反應(yīng)劑系統(tǒng)和薄膜材料的再發(fā)射能力和表面遷移特性相差很大。如果反應(yīng)劑與表面黏滯力低(黏滯系數(shù)小),該反應(yīng)劑穿過黏滯層到達(dá)襯底表面之后還會(huì)通過再發(fā)射或表面遷移進(jìn)人孔洞或溝槽內(nèi)的底部角落位置,這使得薄膜的淀積厚度趨于均勻,增強(qiáng)了臺(tái)階覆蓋效果。如圖76 (a)和(b)中②再發(fā)射及③表面遷移所示。

   實(shí)際上影響薄膜臺(tái)階覆蓋情況的因素很多,主要有薄膜種類、淀積方法、反應(yīng)劑系統(tǒng)和工藝條件(溫度、氣壓、氣流)等。對(duì)特定薄膜淀積工藝來說,應(yīng)找出主要影響因素,并綜合考慮其他因素帶來的影響,從而進(jìn)行工藝控制,制備出臺(tái)階覆蓋特性較好的薄膜。