真空系統(tǒng)主要包括多級真空泵、各種閥OP07DN門、檢測不同真空度范圍的各種真空規(guī)及管路。

   真空蒸鍍工藝要求真空室基壓在高真空度范圍,通常在104Pa以上。要獲得這樣高 的真空度需要采用多級真空泵,最常采用一個機械泵和一個擴散泵的串聯系統(tǒng)。機械泵是初級泵,多使用油封式旋轉葉片泵,工作氣壓在常壓至102Pa范圍;擴散泵是次級泵,多使用靠“定向油蒸氣流”來排出氣體的油擴散泵,油擴散泵工作氣壓在10~10“h范圍,在大氣壓和低真空度時不能使用,否則泵油會被氧化。

   真空規(guī)是用于測量真空度的儀表,不同的真空度范圍用不同的真空規(guī)測量,蒸鍍系統(tǒng)低真空度時常用熱偶規(guī)測量,測試范圍從常壓至101Pa;高真空度時用電離規(guī)測量,測試范圍為1O~101Pa。閥門和管路部分必須使用高真空專用閥門和管路,如真空室進氣閥使用針孔閥等。