挑選好的制版玻璃。通過(guò)切ACS712ELCTR-20A-T割、銑邊、例棱、倒角、粗磨、精磨、厚度分類(lèi)、粗拋、精拋、超聲清洗、檢驗(yàn)、平坦度分類(lèi)等I序后,制成待用的襯底玻璃。

   鉻膜的蒸發(fā)

   鉻版通常采用純度99%以上的鉻粉作為蒸發(fā)源,把其裝在加熱用的鉬舟內(nèi)進(jìn)行蒸發(fā)。蒸發(fā)前應(yīng)把真空度抽至10J mmHg以上.被蒸發(fā)的玻璃須加熱。其他如預(yù)熱等步驟與蒸鋁工藝相似。

    蒸發(fā)后對(duì)鉻膜的質(zhì)量檢查

   從真空室中取出蒸好的鉻版,用丙酮棉球擦洗表面,然后放在白熾燈前觀察。檢查鉻層是否有針孔,厚度是否均勻,厚薄是否適當(dāng)。如果鉻膜太厚,腐蝕時(shí)容易鉆蝕,影響光刻質(zhì)量。太薄則反差不夠

高。鉻膜的厚度可用透過(guò)鉻版觀察白熾燈絲亮度的方法,根據(jù)經(jīng)驗(yàn)判斷。精確的厚度必須用測(cè)厚儀測(cè)量。鉻膜質(zhì)量不好的常見(jiàn)毛病是針孔.產(chǎn)生原囚主要是玻璃基片的清潔度不夠好、有水汽吸附、鉻粉不純、表面存在塵埃等。