由于硅的電極電位低于銅,硅能從硫酸銅(CusG)溶液中把Cu置換出來,而且又由于n型⒏的標準電極電位低于p型s的標準電極電位,因此,先在n型⒊上先析出Cu, FFPF08S60STU表面上形成紅色Cu鍍層,這樣就把pll結(jié)明顯地顯露出來。染色時間不能過長,以避免整個硅片都染上銅色,分辨不出pn結(jié)的邊界位置。

   CuS(|溶液的配比:CuSC,:48%HF:H20=5g:2mI冫:50mI'。染色液中加人少量HF,目的是為了把硅片表面的氧化物先除去,使染色反應能順利進行。

    測量儀器與試劑

   測量儀器與試劑有帶微米尺的顯微鏡,磨角器,電爐,白熾燈,坩堝鉗,瓷盤和玻璃板;三氧化二鋁(A圮03)磨料,松吞;分析純的Cu&)1。5H2Θ、HF、濾紙、乙醇棉球。

   測量步驟

   1磨角

   將磨角器放在電爐上加熱,待磨角器溫度高于松香熔化溫度時,用坩堝鉗取下磨角器,將被測小硅片用松香貼在磨角器上,貼法如圖肛6中(a)所示,使pn結(jié)的交界線露在面上,磨角器用水冷卻;然后,在玻璃上放好摻水的磨料,進行研磨拋光,直到露出斜面為止。

   2染色

   用乙醇棉球擦拭磨好的小硅片,從磨角器上取下,放人硫酸銅溶液中,白熾燈照射30s左右,注意觀察,當發(fā)現(xiàn)n型區(qū)染上紅色后,立即將硅片投人超純水中清洗,再用濾紙吸干,待測。

   3結(jié)深測量

   將磨好的小硅片放在顯微鏡的載物臺上,觀察p11結(jié),從目鏡微米尺上直接讀取與p區(qū)距離尺寸L;將測量值代人式Xi=0,0875L,換算出擴散結(jié)結(jié)深汛。

    思考題

   (1)染色時為什么要使用白熾燈照射?

   (2)分析測量誤差的來源。