要取得在相當寬廣范圍內(nèi)的對比度,必須放棄一點極限分辨率。而且,為了獲取高于NAn的頻率, V6300ASP5B必須放棄一些小于NAn的空間頻率。對

于相干度,一般有如下的定義。

   根據(jù)參考文獻E29彐定義,當使用非相干擴展光源,光源的大小對應(yīng)的在掩膜版平面上的相干長度等于系統(tǒng)的最小分辨長度時,在掩膜版上任意兩點之間(當然要大于分辨長度),實際上是沒有位相聯(lián)

系的,也就是說這種照明方式是非相干的。在光刻機中,當使用科勒照明下,照明光束充滿系統(tǒng)的最大數(shù)值孔徑除以系統(tǒng)放大倍數(shù)時,照明為非相干。如:浸沒式光刻機的數(shù)值孔徑為1.35,由于放大率為,那么,在掩膜版平面的數(shù)值孔徑為1.35/4=0.34�；蛘邚埥菫�19.7°。如果照明光束能夠充滿從垂直到19.7°的斜人射方向,那么照明條件為非相干的。任何小于此充滿角度的照明方式為部分相干。照明相干度在光刻機上的實現(xiàn)方式如圖7.63所示。

   那么如何解釋圖7.62中的結(jié)果呢?式(733)顯示,衍射級與級之間的角度正弦值是固定的,為^/p,如果使用斜入射,當斜人射角達到最大時(瞄準鏡頭邊緣,即對應(yīng)最大數(shù)值孔徑),透鏡的有限孔徑能夠最大限度地接收衍射光,如圖7.60所示。在非相干照明條件下,照明光充滿整個鏡頭,所以包含了在鏡頭孔徑最邊緣的光線,而其衍射光與入射光的最小張角只要不大于2NA似,就可以讓鏡頭同時收入兩個衍射級(0級人射光和+1或者-1衍射級),干涉生成圖樣。所以,對于σ=1非相干光照明,系統(tǒng)的可分辨空間頻率可以達到2NA似。而對于部分相干光,如σ=0.6,系統(tǒng)只能夠分辨到1.6NA似。所以,對于部分相干光照明,系統(tǒng)的分辨率.