一臺光刻機(jī)可分為幾大系統(tǒng):硅片輸運(yùn)分系統(tǒng)(wafer hndlcr su⒍wstem)、硅片平臺V80102MS02Q (PB)分系統(tǒng)(w盯er鼓age su⒈wstem)、掩膜版輸運(yùn)分系統(tǒng)(rctide l△alldkr sub-system)、系統(tǒng)測量與校正分系統(tǒng)(cdibraoon md metrology sub-wstem)、成像分系統(tǒng)(imaglng sub―wstem)、光源分系統(tǒng)(light source sub system)以及電氣(clectric)、廠區(qū)通信(fab communication)、純水(purihedwafer)、污染和溫度控制(contamination and temperaturc∞ntrol)等。

   硅片輸運(yùn)分系統(tǒng)

   硅片輸運(yùn)分系統(tǒng)的任務(wù)是將軌道機(jī)傳遞來的硅片準(zhǔn)確無誤地按照一定的角度和位置放預(yù)對準(zhǔn)平臺(pre alignment stagc)內(nèi)進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)(有的光刻機(jī)甚至開始對硅片進(jìn)行溫度調(diào)整),預(yù)對準(zhǔn)完成后.由機(jī)械手將硅片按照預(yù)定的位置放在硅片平臺上。這時,硅片在硅片平

臺上相對對準(zhǔn)系統(tǒng)的位置精度一般小于15um。當(dāng)硅片完成曝光,再由硅片輸運(yùn)分系統(tǒng)將其輸送到光刻機(jī)和軌道機(jī)的接口處,等待軌道機(jī)的機(jī)械手將其取走。