亞衍射散射條的工藝仿真效果
發(fā)布時間:2017/10/30 21:55:32 訪問次數(shù):605
圖7.97是一組仿真的結(jié)果,顯示了加上亞衍射散射條后,對焦深度顯著提高了(大約從60nm到100nm),但是曝光能量寬裕度也減小了(2OOnm空問周期以上的大約從20%下降到16%)。而且孤立線條的掩膜版誤差囚子也大約從1.0升到1,5。UC3842A所以,亞衍射散射條的應用能夠大幅提高對焦深度,但是也要放棄一點對比度或者能量寬裕度。綜上所述,發(fā)揮亞衍射散射條的作用,也需要配合離軸照明(如環(huán)形照明)一起使用。
那么,如何添加亞衍射散射條呢?當前,有兩種方法:手△的和白動的。白動的方法又分為基于規(guī)則的和基于模型的。
圖7.97是一組仿真的結(jié)果,顯示了加上亞衍射散射條后,對焦深度顯著提高了(大約從60nm到100nm),但是曝光能量寬裕度也減小了(2OOnm空問周期以上的大約從20%下降到16%)。而且孤立線條的掩膜版誤差囚子也大約從1.0升到1,5。UC3842A所以,亞衍射散射條的應用能夠大幅提高對焦深度,但是也要放棄一點對比度或者能量寬裕度。綜上所述,發(fā)揮亞衍射散射條的作用,也需要配合離軸照明(如環(huán)形照明)一起使用。
那么,如何添加亞衍射散射條呢?當前,有兩種方法:手△的和白動的。白動的方法又分為基于規(guī)則的和基于模型的。
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