兩束光成像相比三束光成像具有更大的焦深,對(duì)于孤立的圖形,由于進(jìn)人光瞳的衍射級(jí)非常多,換句話(huà)說(shuō),UC3842其衍射譜是連續(xù)的,其焦深比密集圖形要小。那么,如何提高孤立圖形的焦深呢?在20世紀(jì)90年代末,Fung Chcn等人提出F使用亞衍射散射條(sub_resolutionassist features,SRAF)的方法來(lái)提高孤立圖形的焦深ηΙ2,圖7.96描述了常見(jiàn)的亞衍射散射條的效果。其原理是在孤立線(xiàn)條在光瞳L的連續(xù)衍射角分布L1加上密集圖形的衍射級(jí),將兩束光成像焦深較大的效應(yīng)對(duì)原先孤立線(xiàn)條的△藝窗口進(jìn)行夾持,改善孤立線(xiàn)條的對(duì)焦深度。其實(shí),我們可以將此情況看成是兩個(gè)圖形的效果的疊加。所以,加上亞衍射散射條后,焦深得到顯著提高。不過(guò),由于衍射光更加集中到密集的0級(jí)、1級(jí)或者-1級(jí),原先孤立線(xiàn)條的密集衍射級(jí)數(shù)被淡化,空間像對(duì)比度會(huì)有所減小(也就是衍射級(jí)數(shù)由于受到密集散射條對(duì)0、±1級(jí)的傾斜,其他級(jí)數(shù)受到削弱,等效的衍射級(jí)變小了),也就是能量寬裕度會(huì)有所減小。