Marangoni干燥:Marangoni干燥技術(shù)由飛利浦研發(fā)實(shí)驗(yàn)室在1990年公布實(shí)施ⅡⅡ71, W208CHTR它取自一位意大利科學(xué)家的名字(這位科學(xué)家是19世紀(jì)從事流體動(dòng)力學(xué)的先驅(qū))。其方法如圖9,26所示,晶片放進(jìn)一個(gè)密封的水槽,槽內(nèi)水面上方空間通人IPA+N2,沖洗一段時(shí)間后,以約5mm/s的速度慢慢提拉晶片,進(jìn)入含有高濃度IPA的空間,此時(shí),晶片表面水膜呈現(xiàn)月牙形,在區(qū)域1,較薄的水膜吸附并溶人較高濃度IPA,而區(qū)域2有較低的濃度,高濃度IPA的水膜有較低的表面張力,結(jié)果區(qū)域1和Fx域2之間就產(chǎn)出一個(gè)表面張力梯度,使得它在晶片上升時(shí)向下拉月牙形水膜到水槽,晶片從而變得干燥又干凈。