光助銅腐蝕
發(fā)布時間:2017/11/11 18:20:09 訪問次數(shù):866
光助銅腐蝕(Pho1o Assisted Copper Corrosion,PACC)
產(chǎn)品中的PN結(jié)在光子的照射下產(chǎn)生電子流動,使得Cu原子從P摻雜的連線轉(zhuǎn)移到N摻雜的一端,QEDS-9864實現(xiàn)了這個PN結(jié)回路的導(dǎo)通,相當(dāng)于一個太陽能電池,這就是所謂的光助銅腐蝕(PΛCC),見圖ll.17和圖11.18。在其他的金屬拋光(如W CMP和GST CMP)中也會發(fā)生此現(xiàn)象。當(dāng)此現(xiàn)象發(fā)生時,你會發(fā)現(xiàn)在某些固定的位置(都是P摻雜區(qū)域),部分金屬神秘地消失了。這種缺陷可以通過在拋光和清洗時減少光的照射得到改善,所以,銅拋光機都有遮光系統(tǒng)(dark skin)。合理的產(chǎn)品圖形設(shè)計是解決此問題最根本的方法。
圖1117 光助銅腐蝕原理圖
光助銅腐蝕(Pho1o Assisted Copper Corrosion,PACC)
產(chǎn)品中的PN結(jié)在光子的照射下產(chǎn)生電子流動,使得Cu原子從P摻雜的連線轉(zhuǎn)移到N摻雜的一端,QEDS-9864實現(xiàn)了這個PN結(jié)回路的導(dǎo)通,相當(dāng)于一個太陽能電池,這就是所謂的光助銅腐蝕(PΛCC),見圖ll.17和圖11.18。在其他的金屬拋光(如W CMP和GST CMP)中也會發(fā)生此現(xiàn)象。當(dāng)此現(xiàn)象發(fā)生時,你會發(fā)現(xiàn)在某些固定的位置(都是P摻雜區(qū)域),部分金屬神秘地消失了。這種缺陷可以通過在拋光和清洗時減少光的照射得到改善,所以,銅拋光機都有遮光系統(tǒng)(dark skin)。合理的產(chǎn)品圖形設(shè)計是解決此問題最根本的方法。
圖1117 光助銅腐蝕原理圖
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