掃描聲學(xué)顯微鏡:叉稱超聲波掃描顯微鏡,是利用超聲波脈沖探測(cè)樣品內(nèi)部空隙等缺陷的儀器。 SSL2101T超聲波在介質(zhì)中傳輸時(shí),若遇到不同密度或彈性數(shù)的物質(zhì),會(huì)產(chǎn)生反射回波,而此種反射回波強(qiáng)度會(huì)因材料密度不同而有所差異。掃描聲學(xué)顯微鏡(SAM)利用此特性,工作時(shí),由電子開關(guān)控制的能在發(fā)射方式和接收方式之間交替換的超聲傳感器發(fā)出一定頻率(1~500MHz)的超聲波,經(jīng)過聲學(xué)透鏡聚焦,由耦合介質(zhì)傳到樣品上。聲波脈沖透射進(jìn)入樣品內(nèi)部并被樣品內(nèi)的某個(gè)接口反射形成回波,其往返的時(shí)間由接口到傳感器的距離決定,回波由示波器顯示,其顯示的波形是樣品不同接口的反射強(qiáng)度與時(shí)問的關(guān)系。在 SAM的圖像中,與背景相比的襯度變化構(gòu)成了重要的信息,在有空洞、裂縫、不良粘接和分層剝離的位置產(chǎn)生了高的襯度,因而容易從背景中區(qū)分出來。襯度的高度表現(xiàn)為回波脈沖的正負(fù)極性,其大小由組成接口的兩種材料的聲學(xué)阻抗系數(shù)決定,回波的極性和強(qiáng)度構(gòu)成一幅能反映接口狀態(tài)缺陷的超聲圖像。