使用最小二乘法進(jìn)行線性擬合后得到參數(shù)C與n。熱載流子測試的數(shù)據(jù)處理通常先要根據(jù)得到的參數(shù)C與″的值外推電性參數(shù)相對變化量Y達(dá)到這種應(yīng)力條件下的某預(yù)定值yl盯(如10%的參數(shù)漂移)的相應(yīng)TTFr。 UPD74HC258GST1

   如圖15.2所示,我們假設(shè)參數(shù)漂移達(dá)到10/時(shí)器件失效,在二組不同應(yīng)力條件下(應(yīng)力條件A>B)(r),可以推出相對應(yīng)的失效時(shí)間。

   圖15.2 不同應(yīng)力條件下的失效時(shí)間

   得到不同應(yīng)力條件下的失效時(shí)間后,利用相對應(yīng)的壽命模型可以算出其在工作條件下的壽命,下面以Ib/Id模型為例。

   即襯底漏電流比例模型,通常用于NMΘS的壽命分析,其中A、,,a為擬合參數(shù),Ⅰb為襯底電流,1d為漏電流,W為MoS的柵寬度。襯底漏電流比例模型通過對不同測試條件下每顆樣品的r、Ιb、Id等值得到擬合參數(shù)A從而得到T作條件下熱載流子壽命。