在原子力顯微鏡的系統(tǒng)中,二極管激光器發(fā)出的

激光束經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)聚焦在微懸臂(cantil四cr)背面,并從微懸臂

背面反射到由光電二極管構(gòu)成的光斑位置檢測(cè)器(de1cc1or),如

圖16.1所示。SA1412因而,通過(guò)光電二極管檢測(cè)光斑位置的變化,就能獲得被測(cè)樣品表面形貌的信息。在樣品掃描時(shí),由于樣品表面的原子與微懸臂探針尖端的原子間的相互作用力,微懸臂將隨樣品表面形貌而彎曲起伏,反射光束也將隨之偏移,在整個(gè)系統(tǒng)中是依靠激光光斑位置檢測(cè)器將偏移量記錄下并轉(zhuǎn)換成電的信號(hào),以供SPM控制器做信號(hào)處理c在AFM中要得到樣品垂直方向約0.01A的精確度,探針和樣品間距的穩(wěn)定度需維持在0,001A。環(huán)境的震動(dòng)振幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)這個(gè)量級(jí)百萬(wàn)倍,囚此必須隔離環(huán)境的震動(dòng)。AFM的防震設(shè)計(jì)包括兩方面,一是設(shè)備與周圍環(huán)境震動(dòng)的隔離,二是成像裝置部分本身具有較大的剛度。組合使用黏彈性的高分子橡膠和金屬?gòu)椈?以盡量過(guò)濾各種頻率的振動(dòng),實(shí)現(xiàn)與周圍環(huán)境震動(dòng)的隔離。