傳統(tǒng)的yield model一個隱含的重要假設(shè),是所有缺陷都是致命缺陷(killer defecO�，F(xiàn)實(shí)中顯然并非如此。 OMAP1510CGZG2R

   如圖17.6所示,當(dāng)特定大小的缺陷掉落在wafcr上時,不是在任何區(qū)域都會引起失效。為簡化問題,假設(shè)缺陷是圓形,僅考察缺陷中心所在會引起線路短路的區(qū)域,可以發(fā)現(xiàn),當(dāng)缺陷中心掉落圖中的陰影區(qū)域,將引起短路。

   由此可以定義,物理缺陷的屮心,所在會引起電性失效(開路或者短路)的區(qū)域?yàn)殛P(guān)鍵區(qū)域(chtical area)。實(shí)際產(chǎn)品的critical area如圖17,7所示。

   分析產(chǎn)品各丁藝層的關(guān)鍵lx域曲線,結(jié)合△藝的缺陷大小分布(I)cfcct SizeI)istribution,DSD),可以基于critical area進(jìn)行建模。這種yield model考慮了設(shè)計工藝的交互影響,可以有效地指導(dǎo)I藝的改善/設(shè)計的完善。