俄歇電子:原子內(nèi)T0518-007D層電子能級(jí)躍遷過程中釋放出來的能量不是以X射線的形式釋放而是用該能量將核外另一電子發(fā)射出去(或使空位層的外層電子發(fā)射出去),脫離原子變為二次電子,這個(gè)被電離出來的電子稱為俄歇電子。因每一種原子都有自己特定的殼層能量,所以它們的俄歇電子能量也各有特征值,能量在50~1500eV范圍內(nèi)。俄歇電子是從試樣表面極有限的幾個(gè)原子層中發(fā)出的,所以俄歇電子信號(hào)適用于表層化學(xué)成分分析。

   吸收電子:人射電子對(duì)樣品掃描時(shí),除了發(fā)射工次電子和背散射電子等信息,一部分電子(在樣品內(nèi)部深處產(chǎn)生的不能逸出的二次電子和背散射電子)經(jīng)多次非彈性散射,能量損失殆盡(假定樣品有足夠的厚度沒有透射電子產(chǎn)生)被復(fù)合所吸收,成為吸收電流信號(hào),這個(gè)信號(hào)在正常情況下通過載物臺(tái)接地,若吸收電流用于向電流放大器提供電流,則被放大的信號(hào)便可用來產(chǎn)生主要依賴于被掃描區(qū)域電導(dǎo)率的信號(hào),可用在分析樣品上存在導(dǎo)電路徑或在沒有外部偏置電路的情況下確定樣品表面上材料的電導(dǎo)率以及用來觀察PN結(jié)的結(jié)區(qū)位置、形狀和尺寸等的束感生電流像(ERIC)。