集束型裝備是典型的離散事件動態(tài)系統(tǒng),存在各種各樣的不確定事件。這些不TBPS0R472J410H5Q確定事件主要是由設(shè)備維護(hù)、客戶需求變化、新產(chǎn)品試制、加工時間波動和設(shè)備自動清洗等幾方面的原因引起的。不確定事件的發(fā)生會影響集束型裝備的運(yùn)行,造成系統(tǒng)性能指標(biāo)的惡化。集束型裝備加工環(huán)境的高度不確定性主要體現(xiàn)在以下幾個方面。

   設(shè)各維護(hù)

   設(shè)各維護(hù)是不可遇見性的突發(fā)情況,雖然其發(fā)生頻率不是很高,但對集束型裝備狀態(tài)的影響很大。在集束型裝備內(nèi)部,其加工模塊發(fā)生故障時,應(yīng)先卸載晶圓,返回到冷卻模塊,再返回至裝載室,而在故障工序之后的加工模塊的晶圓應(yīng)繼續(xù)完成加工。為了平衡工

序的工作負(fù)荷,有些工序經(jīng)常設(shè)置多個模塊進(jìn)行加工,這些模塊稱為并行模塊。當(dāng)并行模塊中一個模塊出現(xiàn)故障時,加工過程有可能繼續(xù)進(jìn)行。但由于模塊故障打破了原有的負(fù)荷平衡,改變了各工序晶圓的逗留時間,可能使得晶圓滯留時間約束得不到滿足。