集束型裝備的運(yùn)行屬于一種批加工過(guò)程,一個(gè)批次晶圓是25片,加工完某種產(chǎn)品的一批后, A915BY-151M切換到另一種產(chǎn)品的加工。每次切換時(shí),各加工模塊都需要重新設(shè)置。在每批加I中都包含三個(gè)階段:初始暫態(tài)階段、穩(wěn)態(tài)階段、終止暫態(tài)階段。假設(shè)在系統(tǒng)達(dá)到穩(wěn)態(tài)后,裝各中有刀片晶圓處于加工中,在加工一批晶圓開(kāi)始時(shí),裝備內(nèi)的加工模塊和機(jī)械手都處于空閑狀態(tài),這個(gè)時(shí)刻是初始暫態(tài)階段的開(kāi)始。然后按照加I工藝要求,晶入裝載室,逐步進(jìn)入裝備內(nèi)加工。當(dāng)系統(tǒng)中刀片晶圓處于加工狀態(tài)時(shí),初始暫態(tài)階段結(jié)束,進(jìn)入穩(wěn)態(tài)。當(dāng)系統(tǒng)中有刀片晶圓處于加工狀態(tài),而輸入裝載室中已經(jīng)沒(méi)有待加工晶圓時(shí),穩(wěn)態(tài)結(jié)束并進(jìn)入終止暫態(tài)階段。當(dāng)所有晶圓加工完畢,終止暫態(tài)階段結(jié)束,系統(tǒng)回到空閑狀態(tài)。

    當(dāng)機(jī)械手空閑時(shí),可能有多于1個(gè)晶圓在等待機(jī)械手卸載并搬運(yùn),此時(shí)必須決定機(jī)械手即將搬運(yùn)哪個(gè)晶圓,即為哪個(gè)加工模塊服務(wù),這種決策策略稱為調(diào)度策略(Schcdu1ingPo1icy)。集束型裝備在穩(wěn)態(tài)階段的運(yùn)行可分以下兩種類型。

   (1)加工受限類型(Proccss-bound)。機(jī)械手有空閑時(shí)間,集束型裝備的生產(chǎn)周期由最長(zhǎng)時(shí)間的工序決定。

   (2)搬運(yùn)受限類型(Transport bound)。機(jī)械手一直處于繁忙狀態(tài),集束型裝備的生產(chǎn)周期由機(jī)械手的活動(dòng)時(shí)間所決定。